Weit durchstimmbare hochselektive optische Filter und Empfängerbauelemente für WDM Systeme

• Antragsteller: Professor Dr. Hartmut Hillmer
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2001 bis 2008
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5268062

Im Rahmen des Forschungsvorhabens sollen InP-basierende, mikromechanisch durchstimmbare Filter- und Detektor-Bauelemente modelliert, entwickelt, technologisch hergestellt und messtechnisch charakterisiert werden. Derartige Elemente stellen Schlüsselkomponenten zukünftiger glasfaserbasierender optischer Daten- und Telekommunikationssysteme höchster Übertragungskapazität dar. Diese Systeme basieren auf dem Frequenzmultiplexverfahren (WDM) im zweiten und dritten Telekommunikationsfenster (1.3 µm und 1.55 µm). Um stabil und mit geringem Gegensprechen der Kanäle (cross-talk) innerhalb des ITU Frequenzrasters operieren zu können ist eine Frequenzabstimmbarkeit der Systemkomponenten von entscheidendem Vorteil. Die Durchstimmbarkeit der optischen Bauelemente erfolgt mikromechanisch. Eine vertikale Luftspaltkavität wird kapazitiv aktuiert. Die Herstellung der mikromechanischen Strukturen basiert auf dem selektiven Ätzen von Opferschichten (`Surface micromaching`) und ist kompatibel mit den Herstellungsverfahren der modernen Mikroelektronik und damit der Massenfertigung. Aus der Kombination zwischen optoelektronischen und mikromechanischen Prozessen erwachsen vielfältige neue Möglichkeiten. Daher wird im Rahmen des vorliegenden Forschungsvorhabens eine deutliche Verbesserung der Leistungsfähigkeit und Funktionalität von Filter- und DetektorBauelementen erwartet: * Weite, kontinuierliche Durchstimmung (größer als 40nm) * Optische Halbwertsbreite (`Selektivität`) kleiner als 1nm * Spektrale Positioniergenauigkeit kleiner a

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen