Project Details
Widely tunable, highly selective optical filter and receiver elements for WDM systems.
Applicant
Professor Dr. Hartmut Hillmer
Subject Area
Electronic Semiconductors, Components and Circuits, Integrated Systems, Sensor Technology, Theoretical Electrical Engineering
Term
from 2001 to 2008
Project identifier
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5268062
Im Rahmen des Forschungsvorhabens sollen InP-basierende, mikromechanisch durchstimmbare Filter- und Detektor-Bauelemente modelliert, entwickelt, technologisch hergestellt und messtechnisch charakterisiert werden. Derartige Elemente stellen Schlüsselkomponenten zukünftiger glasfaserbasierender optischer Daten- und Telekommunikationssysteme höchster Übertragungskapazität dar. Diese Systeme basieren auf dem Frequenzmultiplexverfahren (WDM) im zweiten und dritten Telekommunikationsfenster (1.3 µm und 1.55 µm). Um stabil und mit geringem Gegensprechen der Kanäle (cross-talk) innerhalb des ITU Frequenzrasters operieren zu können ist eine Frequenzabstimmbarkeit der Systemkomponenten von entscheidendem Vorteil. Die Durchstimmbarkeit der optischen Bauelemente erfolgt mikromechanisch. Eine vertikale Luftspaltkavität wird kapazitiv aktuiert. Die Herstellung der mikromechanischen Strukturen basiert auf dem selektiven Ätzen von Opferschichten (`Surface micromaching`) und ist kompatibel mit den Herstellungsverfahren der modernen Mikroelektronik und damit der Massenfertigung. Aus der Kombination zwischen optoelektronischen und mikromechanischen Prozessen erwachsen vielfältige neue Möglichkeiten. Daher wird im Rahmen des vorliegenden Forschungsvorhabens eine deutliche Verbesserung der Leistungsfähigkeit und Funktionalität von Filter- und DetektorBauelementen erwartet: * Weite, kontinuierliche Durchstimmung (größer als 40nm) * Optische Halbwertsbreite (`Selektivität`) kleiner als 1nm * Spektrale Positioniergenauigkeit kleiner a
DFG Programme
Research Grants