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Person

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Professor Dr. Hartmut Hillmer

Adresse Universität Kassel
Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik
34109 Kassel

Projekte

Als Antragsteller
- laufende Projekte
- abgeschlossene Projekte
Als Leiter
- abgeschlossene Projekte
  - Dual Beam Focussed Ion Beam (Forschungsgroßgeräte)
  - Nanoimprint Anlage mit SCIL Tooling (Forschungsgroßgeräte)
  - 3D Mikrofabrikationssystem basierend auf 2-Photononen-Polymerisation (Forschungsgroßgeräte)
  - Chemische Gasphasenabscheidungsanlage mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-CVD) (Forschungsgroßgeräte)
Als Beteiligte Person
- abgeschlossene Projekte
  - Planare Multichipmodul-Integrationstechnologie für Leistungsanwendungen im Mikrowellen- und Millimeterwellenbereich (Sachbeihilfen)
  - Materialbearbeitung von Dielektrika auf der Nanometerskala mit zeitlich asymmetrisch geformten Femtosekundenlaserpulsen und polarisationsgeformten Femtosekundenlaserpulsen (Schwerpunktprogramme)

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