Detailseite
Projekt
Dual Beam Focussed Ion Beam
Fachliche Zuordnung
Elektrotechnik und Informationstechnik
Förderung
Förderung in 2007
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 49926574
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Forschungsgroßgeräte
Gerätegruppe
0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
Antragstellende Institution
Universität Kassel
