SFB 622:  Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

• Fachliche Zuordnung: Maschinenbau und Produktionstechnik ; Informatik, System- und Elektrotechnik ; Materialwissenschaft und Werkstofftechnik
• Förderung: Förderung von 2002 bis 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5485337

Im Sonderforschungsbereich werden die wissenschaftlich-technischen Grundlagen zum Entwurf und zur Realisierung von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen erarbeitet. Diese Maschinen ermöglichen die Positionierung, Messung, Antastung und Bearbeitung von Objekten mit Nanometerpräzision. Sie werden in zukunftsorientierten Technologien und Techniken (Halbleitertechnik, extreme UV-, Elektronenstrahl- und Röntgenlithografie, Nanoimprinting-Lithografie, Nanostrukturierung, Nanofabrication, Waferlevel-Testing, Mikromechanik, Kristallografie, Mineralogie aber auch Bio- und Gentechnik) zum Einsatz kommen und dort technische, technologische und analytische Operationen mit höchster Präzision und Dynamik ausführen.
Die für den Sonderforschungsbereich resultierenden großen Herausforderungen bestehen darin, dass diese Maschinen Forderungen nach immer größeren Bewegungsbereichen mit extremen Genauigkeiten und hohen Positioniergeschwindigkeiten genügen müssen und neuartige Antastsysteme und Nanotools (Bearbeitungstools) in die Maschinen einzubinden sind.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche

Abgeschlossene Projekte

• A01 - Metrologie der NPM-Maschinen (Teilprojektleiter Füßl, Roland ;  Manske, Eberhard )
• A02 - Nanomesstechnik (Teilprojektleiter Hausotte, Tino ;  Manske, Eberhard )
• A3 - Lithografie-Nanotools (Teilprojektleiter Doll, Theodor ;  Schwierz, Frank )
• A05 - Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche (Teilprojektleiter Sattel, Thomas ;  Schäffel, Christoph )
• A07 - Methoden zum Steuerungs- und Regelungsentwurf bei Nanopositionier- und -messmaschinen (Teilprojektleiter Sawodny, Oliver )
• A08 - Multifunktionale Nanoanalytik mit einem in die Nanopositionier- und Messmaschine integrierten Kraftmikroskop (AFM/NPM-Maschine) (Teilprojektleiter Ambacher, Oliver )
• A09 - Durchgängiger Entwurf von modellbasierten Regelungen für Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (Teilprojektleiter Ament, Christoph )
• A11 - Dynamische Nanopositionierung für kleine Bewegungsbereiche (Teilprojektleiter Rangelow, Ivo W. )
• A12 - Integration einer Multifunktionalen Nanoanalytik (Teilprojektleiter Hoffmann, Martin )
• B01 - Modellgestützte Analyse und Optimierung des dynamischen Verhaltens von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (Dynamik von NPM-Maschinen) (Teilprojektleiter Zimmermann, Klaus )
• B02 - Nanokonstruktion (Teilprojektleiter Theska, René ;  Weber, Christian )
• B03 - Werkstoffe und Oberflächen (Teilprojektleiter Kern, Heinrich ;  Schaaf, Peter ;  Spieß, Lothar )
• B04 - Glasbauteile für NPM-Maschinen (Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter Harnisch, Alf ;  Hülsenberg, Dagmar )
• B05 - Tribologische Eigenschaften (Teilprojektleiter Ahmed, Syed Imad-Uddin ;  Scherge, Matthias )
• B07 - Nanotools für NPM-Maschinen (Teilprojektleiter Hoffmann, Martin ;  Sinzinger, Stefan )
• C01 - Hochleistungsinformationsverarbeitung mit eingebetteten Systemen (Teilprojektleiter Fengler, Wolfgang )
• C02 - Sensornahe Messdatenerfassung und -verarbeitung (Teilprojektleiter Franke, Karl-Heinz )
• C03 - Visualisierung und Teleservice (Teilprojektleiter Weiß, Mathias )
• C04 - Ergonomische Gestaltung nanotechnischer Systembereiche (Teilprojektleiter Kurtz, Peter )
• C05 - Entwurfs- und wissensbasierte Prüfplanerstellung für die Qualitätssicherung von mikro- und nanostrukturierten Komponenten (Teilprojektleiter Linß, Gerhard )
• C06 - Modularer Entwurf von modellbasierten Regelungen zur Regelung/Steuerung von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (Teilprojektleiter Ament, Christoph )
• MGK - Integriertes Graduiertenkolleg (Teilprojektleiter Manske, Eberhard ;  Theska, René )
• T01 - Metrologische Verifikation (Teilprojektleiter Füßl, Roland ;  Grünwald, Rainer )
• T02 - Konstruktion, Aufbau und Erprobung der Maschine (Teilprojektleiter Jäger, Gerd ;  Manske, Eberhard ;  Theska, René )
• T03 - Signalverarbeitung und Systemsteuerung (Teilprojektleiter Ament, Christoph ;  Fengler, Wolfgang ;  Li, Pu )
• Z - Zentrale Aufgaben für den SFB (Teilprojektleiterinnen / Teilprojektleiter Augustin, Silke ;  Manske, Eberhard )

• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Beteiligte Institution: IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH
• Sprecher: Professor Dr.-Ing. Eberhard Manske