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Person
Professor Dr.-Ing. Martin Hoffmann
Adresse
Ruhr-Universität Bochum
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik
Universitätsstraße 150
44801 Bochum
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Als Antragsteller
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laufende Projekte
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ADOPT - Adaptive THz Optik (Schwerpunktprogramme)
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Räumliche Positionierung und funktionelle Manipulation von tropfenbasierten Systemen (Schwerpunktprogramme)
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abgeschlossene Projekte
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Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration (Gerätezentren)
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HF-MEMS-Bauelemente, M-Systeme und Hybridintegration (Forschungsgruppen)
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Gerätezentrum Mikro-Nano-Integration - Fortsetzungsantrag (Gerätezentren)
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laufende Projekte
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Als Leiter
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abgeschlossene Projekte
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UV-Maskenbelichter (Forschungsgroßgeräte) -
PVD Cluster-Anlage (Forschungsgroßgeräte)
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UV-Lithografie- und Bond-Aligner (Forschungsgroßgeräte)
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abgeschlossene Projekte
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Als Teilprojektleiter
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laufende Projekte
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abgeschlossene Projekte
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Integration einer Multifunktionalen Nanoanalytik (Sonderforschungsbereiche)
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Nanotools für NPM-Maschinen (Sonderforschungsbereiche)
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laufende Projekte
- Als Beteiligte Person
