Grundlagenuntersuchungen zur modellgestützten Messunsicherheitsanalyse für die Rauheitsbestimmung mittels Interferenzmikroskopie

• Antragsteller: Dr.-Ing. Rolf Krüger-Sehm
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2004 bis 2008
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5436608

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1159: Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen