Elektronenstrahllithographiesystem mit laserinterferometrisch gesteuertem Probentisch

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2024
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 539301864

Das beantragte Elektronenstrahl-Lithographiesystem soll die bereits vorhandenen Möglichkeiten der Nanostrukturierung in der Core Facility nano.lab der Universität Konstanz erweitern. Die Anforderungen an die Präzision und Skalierbarkeit bei der Herstellung sind in den vergangenen Jahren immer wichtiger geworden. Dabei stellt die Elektronenstrahl-Lithographie eine über unterschiedlichste Forschungsgebiete reichende Möglichkeit der Nanostrukturierung dar. Im SFB 1432 ist diese Technik von zentraler Bedeutung und überaus flexibel einsetzbar in den Bereichen der Nanooptik, Nanoelektronik, Nanomechanik und des Nanomagnetismus. Darüber hinaus soll die Erforschung hybrider Nanostrukturen neue Konzepte im Bereich der organischen Solarzellen liefern. Die Flexibilität der lithographischen Technik erlaubt aber auch den Einsatz in der Biologie und Chemie, wie beispielsweise bei der Untersuchung biomolekularer Transportprozesse oder der Erforschung des kritischen Verhaltens von Kollektiven.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Elektronenstrahllithographiesystem mit laserinterferometrisch gesteuertem Probentisch (Teilfinanzierung)
• Gerätegruppe: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Antragstellende Institution: Universität Konstanz
• Leiter: Professor Dr. Alfred Leitenstorfer