Halbautomatischer 200 mm-Messplatz zur Charakterisierung von Bauelementen und Halbleiterscheiben

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2010
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 179082399

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente betreibt Forschungsaktivitäten auf dem Gebiet Technologie integrierter Schaltungen und elektronischer Bauelemente. Forschungsschwerpunkte sind dabei u.a. der Einsatz neuer Materialien als Gate-Dielektrikum, als Gate-Elektrode oder als Kanalgebiet für moderne Transistoren, die Entwicklung von Leistungsbauelementen auf Basis von Siliciumcarbid und gedruckte Elektronik. Die elektrische Charakterisierung der hergestellten Bauelemente und Teststrukturen stellt einen wesentlichen Teil der Forschungsaktivitäten dar. Der beantragte Messplatz soll sowohl Engpässe bei der Verfügbarkeit vorhandener Messplätze beheben, neue Messmethoden (gepulste Messungen, Hochfrequenz-Messungen, erweiterte C(U)-Messungen) ermöglichen und umfangreiche Messungen für Zuverlässigkeitsuntersuchungen mit langen Messzeiten erlauben. Derzeit besitzt der Lehrstuhl 3 veraltete manuelle Messplätze für I(U)- und C(U)-Messungen (Anschaffung 1994 und früher), die stark ausgelastet und für umfangreichere Messungen nicht einsetzbar sind. Ein bisher genutzter automatischer Messplatz für 150 mm–Scheiben ist defekt und kann altersbedingt nicht mehr in Stand gesetzt werden.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 2780 Spezielle Meß- und Prüfgeräte für Halbleiter und Röhren (außer 620-659)
• Antragstellende Institution: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
• Leiter: Professor Dr. Lothar Frey (†)