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Person

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Professor Dr. Lothar Frey (†)

Projekte

Als Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Untersuchung von p-dotierten Schichten zur Bauelementeisolation (Forschungsgruppen)
  - Flüssigphasenprozessierung von Silicium-Dünnfilmen und elektronischen Bauelementen basierend auf Polysilan-Präkursoren (Sachbeihilfen)
  - Bragg-Gitter auf der Basis von Hybridpolymeren für die analytische Sensorik (Sachbeihilfen)
Als Leiter
- abgeschlossene Projekte
  - Halbautomatischer 200 mm-Messplatz zur Charakterisierung von Bauelementen und Halbleiterscheiben (Forschungsgroßgeräte)
  - Ofensystem zur Oxidation und Ausheilung von Halbleiterbauelementen (Forschungsgroßgeräte)
Als beteiligter Wissenschaftler
- abgeschlossene Projekte
  - GRK 1161: Disperse Systeme für Elektronikanwendungen (Graduiertenkollegs)
  - GSC 80: Erlangen Graduiertenschule für Fortschrittliche Optische Technologien (Graduiertenschulen)
  - EXC 315: Neue Materialien und Prozesse - Hierarchische Strukturbildung für funktionale Bauteile (Exzellenzcluster)
  - GRK 1896: In-situ-Mikroskopie mit Elektronen, Röntgenstrahlen und Rastersonden (Graduiertenkollegs)
Als Teilprojektleiter
- abgeschlossene Projekte
  - Integrierbare Bauelemente zur Erhöhung der Betriebssicherheit elektronischer Systemkomponenten im Automobil (Sonderforschungsbereiche)
Als Beteiligte Person
- abgeschlossene Projekte
Als Ehemaliger Antragsteller
- abgeschlossene Projekte
  - Atomlagenabscheidung von Dotierstoffquellen für die Dotierung von Halbleiterstrukturen - Charakterisierung und Modellierung der Drive-In Prozesse (Sachbeihilfen) bis 8/2018
Als Mitverantwortlich
- abgeschlossene Projekte
  - Kristallzüchtung von Nitrid-Einkristallen mit hoher Reinheit nach dem Ammonothermalverfahren (Forschungsgruppen)

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