Nanopositionier- und Nanomessmaschine

• Fachliche Zuordnung: Systemtechnik
• Förderung: Förderung in 2010
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 160871513

„Der Antrag ordnet sich ein in den Forschungscluster "Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik" der TU Ilmenau. Für die Arbeiten auf diesem Gebiet stehen zwei Nanopositioniermaschinen (NPM) am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik und dem Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien zur Verfügung, die vollständig ausgelastet sind. Um die weltstandsbestimmenden Forschungsarbeiten im Sonderforschungsbereich (3. Antragsphase 2009 - 2013) und im Fachgebiet Präzisionsmesstechnik intensivieren zu können, ist eine dritte NPM-Maschine mit Spezialisierung 3D-Mikro- und Nanokoordinatenmesstechnik erforderlich. Im Verbund mit den beiden anderen Maschinen (Spezialisierung AFM-Messtechnik und optische Messtechnik) kann die internationale Spitzenposition auf dem Gebiet der Nanopositionier- und Nanomesstechnik weiter ausgebaut werden.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 8720 Elektronische und pneumatische Längenmeßgeräte, Wegaufnehmer und Anzeigegeräte
• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Leiter: Professor Dr.-Ing. Eberhard Manske