Nanopositionier- und Nanomessmaschine

• Subject Area: Systems Engineering
• Term: Funded in 2010
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 160871513

„Der Antrag ordnet sich ein in den Forschungscluster "Präzisionstechnik und Präzisionsmesstechnik" der TU Ilmenau. Für die Arbeiten auf diesem Gebiet stehen zwei Nanopositioniermaschinen (NPM) am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik und dem Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien zur Verfügung, die vollständig ausgelastet sind. Um die weltstandsbestimmenden Forschungsarbeiten im Sonderforschungsbereich (3. Antragsphase 2009 - 2013) und im Fachgebiet Präzisionsmesstechnik intensivieren zu können, ist eine dritte NPM-Maschine mit Spezialisierung 3D-Mikro- und Nanokoordinatenmesstechnik erforderlich. Im Verbund mit den beiden anderen Maschinen (Spezialisierung AFM-Messtechnik und optische Messtechnik) kann die internationale Spitzenposition auf dem Gebiet der Nanopositionier- und Nanomesstechnik weiter ausgebaut werden.“

• DFG Programme: Major Research Instrumentation
• Instrumentation Group: 8720 Elektronische und pneumatische Längenmeßgeräte, Wegaufnehmer und Anzeigegeräte
• Applicant Institution: Technische Universität Ilmenau
• Leader: Professor Dr.-Ing. Eberhard Manske