Integration einer Multifunktionalen Nanoanalytik (A12*)

• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung von 2009 bis 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5485337

Durch Integration unterschiedlicher Verfahren in einen automatisierten Wechsler für Messspitzen wird eine neue Qualität der Nanoanalytik erschlossen. Das Konzept der NPM-Maschinen erlaubt eine positionsgenaue sequentielle Kombination unterschiedlicher Messprinzipien mit Nanometerauflösung in einem extrem großen Messvolumen. Dabei geht es sowohl um die Integration bekannter Nanoanalytik-Verfahren mit Hilfe eins Wechsler-Konzepts als auch um neuartige Systeme für die 3D-Messung mit seitlicher Antastung und vollständiger Integration des Antastsystems in einen dreidimensional strukturierten Si-Wafer.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Martin Hoffmann