Integration of multifunctional nanoanalytic (A12*)

• Subject Area: Measurement Systems
• Term: from 2009 to 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337

Durch Integration unterschiedlicher Verfahren in einen automatisierten Wechsler für Messspitzen wird eine neue Qualität der Nanoanalytik erschlossen. Das Konzept der NPM-Maschinen erlaubt eine positionsgenaue sequentielle Kombination unterschiedlicher Messprinzipien mit Nanometerauflösung in einem extrem großen Messvolumen. Dabei geht es sowohl um die Integration bekannter Nanoanalytik-Verfahren mit Hilfe eins Wechsler-Konzepts als auch um neuartige Systeme für die 3D-Messung mit seitlicher Antastung und vollständiger Integration des Antastsystems in einen dreidimensional strukturierten Si-Wafer.

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 622: Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines
• Applicant Institution: Technische Universität Ilmenau
• Project Head: Professor Dr.-Ing. Martin Hoffmann