Dual-Beam Focused Ion Beam Rasterelektronenmikroskop

• Fachliche Zuordnung: Geophysik und Geodäsie
• Förderung: Förderung in 2009
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 126074464

„Die Entwicklung und damit einhergehend die detaillierte Charakterisierung neuartigerStrukturwerkstoffe und Funktionsmaterialien hat in den letzten Jahren stark an Bedeutung gewonnen.Das beantragte Großgerät soll die Lücke zwischen den heutigen Anforderungen an dieMaterialcharakterisierung auf der Nanoskala und den bestehenden Möglichkeiten schließen. Insbesondere Fragestellungen aus den Bereichen Grenzflächen in Hochdruckphasen, Grenz- und Oberflächeneigenschaften von Vielschichtsystemen, Bit Pattern Media, oxidationsbeständige Hochtemperaturwerkstoffe, Solarzellen und Li-Ionenbatterien werden an der Technischen Universität eingehend untersucht. Eine derart breit gefächerte Materialpalette erfordert ein Dual-BeamFocused Ion Beam Rasterelektronenmikroskop der neuen Generation, das neben einer gezieltenProbenpräparation (FIB) ferner eine Charakterisierung bis in die Nanoskala erlaubt. Das beantragteGerät stärkt vor allem die an der Technische Universität zunehmenden Aktivitäten auf dem Gebiet derDünnschichtsysteme und ermöglicht erst eine weitergehende TEM Charakterisierung der neuartigen Systeme.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Technische Universität Darmstadt
• Leiter: Professor Dr. Hans-Joachim Kleebe