Gekoppeltes PECVD-ALD System mit Transferschleuse

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie ; Systemtechnik
• Förderung: Förderung von 2008 bis 2011
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 71083312

Der neu etablierte Lehrstuhl Nanotechnologie am Institut für Mikrosystemtechnik der Universität Freiburg wird sich mit Grundlagenuntersuchungen zu Nanostrukturen beschäftigen. Dabei wird der Schwerpunkt insbesondere in dem kontrollierten Wachstum von Nanostrukturen, deren Überwachsen und Untersuchung liegen. Diese Nanostrukturen (Nanokristalle, Nanodrähte, Übergitterstrukturen) werden mittels (plasmagestützter) Dampfphasenabscheidung (PECVD) hergestellt. Die ALD Anlage ermöglicht zusätzlich das kontrollierte, homogene und dreidimensionale Überwachsen der fertigen Strukturen bei Temperaturen unter 150°C. Es ist geplant, sowohl größenkontrollierte Nanokristalle basierend auf Silizium in Übergitterstruklur als auch geordnete Arrays von Nanodrähten (ZnO, Si) großen- und anordnungskontrolliert zu wachsen und zu überwachsen. Die vertikal zur Substratoberfläche wachsenden Nanodrähte können durch Hüllenstrukturen funktionalisiert werden. Die Kombination mit der ALD Anlage bietet eine Materialvielfalt, die mit keinem anderen Verfahren realisiert werden kann. Zwar gibt es eine PECVD Anlage am IMTEK, jedoch erfordert das Nanodrahtwachstum das Arbeiten mit metallischen Katalysatoren, insbesondere Gold. Diese sind in normalen Anlagen zur Bauelementeherstellung grundsätzlich verboten, da sie die Bauelementeeigenschaften drastisch verschlechtern. Die Kombination beider Anlagen bietet neue Möglichkeiten für innovative Nanostrukturen und stellt die experimentelle Basis der neuen Professur dar.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Gerätegruppe: 0920 Atom- und Molekularstrahl-Apparaturen
• Antragstellende Institution: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
• Leiterin: Professorin Dr. Margit Zacharias