Optoelektronische Ansteuerung für hochintegrierte MEMS auf Polymerbasis

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Andreas Richter
• Fachliche Zuordnung: Mikrosysteme
• Förderung: Förderung von 2008 bis 2012
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 59225249

Vorhabensziel ist die Entwicklung der konstruktiv-technologischen Grundlagen einer opto- bzw. thermoelektronischen Ansteuerung für hochintegrierte mikrotechnische Schaltungen auf Hydrogelbasis. Die Arbeiten umfassen materialsynthetische und konstruktiv-technologische Aspekte sowie die physikalisch-empirische Modellierung des Ansteuerprinzips. Am Beispiel eines hochaufgelösten taktilen Displays werden die technischen Einflussgrößen des Ansteuerprinzips untersucht und dessen Leistungsgrenzen abgeschätzt. Die taktilen Darstellungsmöglichkeiten eines hydrogelbasierten Displays sind an einem Funktionsmuster zu untersuchen.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen