SFB 379:  Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays

• Fachliche Zuordnung: Informatik, System- und Elektrotechnik ; Maschinenbau und Produktionstechnik
• Förderung: Förderung von 1995 bis 2006
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5479322

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche

Abgeschlossene Projekte

• A01 - Komponentenentwurf (Teilprojektleiter Dötzel, Wolfram )
• A02 - Systementwurf (Teilprojektleiter Müller, Dietmar )
• A3 - Applikative Systemlösungen (Teilprojektleiter Bocklisch, Steffen F. ;  Ebest, Gunter ;  Geßner, Thomas ;  Radehaus, Christian )
• A04 - Adaptive Mehrbereichs-Sensorarrays zur Vibrationsanalyse (Teilprojektleiter Mehner, Jan )
• A5 - Positioniersystem (Teilprojektleiter Dietzsch, Michael ;  Dötzel, Wolfram ;  Geßner, Thomas ;  Manthey, Wolfgang )
• A06 - Virtuelles Prototyping mikro-elektromechanischer Aktoren (Teilprojektleiter Maißer, Peter )
• B1 - Sensor-/ Aktorarrays unter Verwendung von Piezopolymeren (Teilprojektleiter Manthey, Wolfgang )
• B02 - Experimentelle Charakterisierung - Modelladaption, Zuverlässigkeit (Teilprojektleiter Dötzel, Wolfram )
• B3 - Raster-Sonden-Array (Teilprojektleiter Hietschold, Michael )
• B05 - Beugungsgitter-Mikrosystem als Sensorarray für eine spektrale Bildscanner-Technologie (Teilprojektleiter Hübler, Arved C. )
• B06 - Kraftsensorarrays (Teilprojektleiter Hietschold, Michael )
• C02 - Neue Technologieplattform für die "Oberflächennahe Silizium-bulk-Mikromechanik" (Teilprojektleiter Geßner, Thomas )
• C3 - Scannerkomponenten mit breitbandigen dielektrischen Reflexionsschichten (Teilprojektleiter Radehaus, Christian ;  Richter, Frank )
• C04 - Niedertemperaturbonden für rekonfigurierbare Resonatorarrays (Teilprojektleiterin Hiller, Karla )
• C05 - Vertikal-FET in "Oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanik (Teilprojektleiter Ebest, Gunter )
• Z - Zentrale Aufgaben für den SFB (Teilprojektleiter Höppner, Gottfried )

• Antragstellende Institution: Technische Universität Chemnitz
• Sprecher: Professor Dr. Thomas Geßner (†)