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Projekt
SPP 1012: Mikromechanische Produktionstechnik
Fachliche Zuordnung
Maschinenbau und Produktionstechnik
Förderung
Förderung von 1996 bis 2002
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5467196
Die Massenfertigung von mikromechanischen Bauteilen wird heute durch die Halbleitertechnik dominiert. Die dort eingesetzten lithografischen und Ätzverfahren können allerdings nicht die geforderten Ansprüche bezüglich einer Klein- oder Mittelserienfertigung von 3-D-Strukturen erfüllen. Hier versprechen konventionelle Fertigungsverfahren das Potenzial, mit einer sehr hohen Flexibilität kostengünstig und einfach Bauteile mit hoher Qualität in Abmessungen kleiner ein Kubikmillimeter oder mit Mikrometerstrukturen herzustellen. Ziel des Schwerpunktprogramms ist es, die Erforschung, Entwicklung und Anwendung eben dieser konventionellen Fertigungsverfahren und -systeme für die Mikrotechnik durchzuführen. Dabei sollen für die verschiedenen Verfahrensvarianten grundlegende Fragestellungen sowohl hinsichtlich des Prozesses als auch in Bezug auf die Maschinentechnik behandelt werden. Forschungsbedarf besteht hier vor allem für die Verfahren des Umformens, des Trennens und des Beschichtens. Somit sollen insbesondere das Spritzgießen, konventionelle Prozesse wie das Drehen, Fräsen, Bohren und Schleifen, der Materialabtrag mit Laser- oder EDM-Technologie sowie das selektive Beschichten mittels Laser untersucht werden. Aufgrund der hohen Komplexität der Thematik ist eine intensive Zusammenarbeit zwischen Partnern mit unterschiedlichen Forschungsschwerpunkten unumgänglich.
DFG-Verfahren
Schwerpunktprogramme
Projekte
- 3D-Mikrostrukturierung mit ultraschallangeregten Werkzeugen (Antragsteller Brinksmeier, Ekkard )
- Analyse unterschiedlicher Plastifizierungskonzepte für eine Mikrospritzgießmaschine (Antragsteller Michaeli, Walter )
- Anwendungsbezogene Eigenschaften dreidimensionaler mit Festkörperlaserstrahlung erzeugter Hartkeramik-Strukturen (Antragsteller Kreutz, Ernst Wolfgang )
- Bearbeitungsverfahren von weichen Funktionsmaterialien zur Herstellung diagnostischer und therapeutischer Mikrobauteile in der Medizin (Antragsteller Gillner, Arnold )
- Bearbeitungsverfahren von weichen Funktionsmaterialien zur Herstellung diagnostischer und therapeutischer Mikrobauteile in der Medizin (Antragsteller Richter, Horst A. )
- Dreidimensionaler Laserstrahl-Formabtrag von Stählen und Hartmetallen für den Einsatz in der Mikrospritzgießtechnik zur Herstellung von Mikrokomponenten aus Kunststoff, Metall und Keramik (Antragsteller Pfleging, Wilhelm )
- Einfließen von Polymerschmelzen in kleine Kavitäten beim Spritzgießen mit induktiver Werkzeugtemperierung (Antragsteller Schinköthe, Wolfgang )
- Einfließen von Polymerschmelzen in kleine Kavitäten beim Spritzgießen mit induktiver Werkzeugtemperierung (Antragsteller Ehrfeld, Wolfgang )
- Entwicklung einer Bearbeitungsmaschine zur Strukturierung von Werkstoffen der Mikro- und Feinwerktechnik durch spanendes Abtragen mit einem hochfrequent rotierenden und axial oszillierenden Werkzeug (Antragsteller Kiesewetter, Lothar )
- Entwicklung eines funkenerosiven Bearbeitungszentrums für die Mikrotechnik (Antragsteller Uhlmann, Eckart )
- Entwicklung eines funkenerosiven Bearbeitungszentrums für die Mikrotechnik (Antragsteller Spur, Günter )
- Entwicklung eines Produktionsverfahrens zur handhabungs-, lager- und montagegerechten Fertigung von Mikrostrukturbauteilen mittels Plastik-Wafer-Technologie (PWT) auf der Basis des 2-Komponenten-Spritzgießens (Antragsteller Ehrfeld, Wolfgang )
- Entwicklung funkenerosiver Verfahren zur Strukturierung von Mikrosystemen (Antragsteller Ehrfeld, Wolfgang )
- Entwicklung mikrostrukturierter Werkzeuge zum duktilen Fräsen optischer Gläser (Antragsteller Brinksmeier, Ekkard )
- Erzeugung keramischer Strukturen durch Laserpyrolyse von Polysilazan (Antragsteller Otto, Andreas )
- Erzeugung keramischer Strukturen durch Laserpyrolyse von Polysilazan (Antragsteller Motz, Günter )
- Fertigung von 3D-Mikrokomponenten durch formangepaßten Abtrag mittels UV-Laserstrahlung (Antragsteller von Alvensleben, Ferdinand )
- Fertigung von keramischen Mikroschwingungssensoren durch Profilschleifen und Lasermaterialabtrag (Antragsteller von Alvensleben, Ferdinand )
- Fertigung von keramischen Mikroschwingungssensoren durch Profilschleifen und Lasermaterialabtrag (Antragsteller Gatzen, Hans-Heinrich )
- Formbohren und Formfräsen mit Diamantwerkzeugen zur Herstellung von Mikrolinsen-Arrays (Antragsteller Brinksmeier, Ekkard )
- Funktionale Oberflächenstrukturierung biomedizintechnischer Mikrobauteile mit Laserstrahlung (Antragsteller Gillner, Arnold )
- Grundlegende Untersuchungen zur Erarbeitung von Verbindungstechniken miniaturisierter Bauteile aus Formgedächtnislegierungen durch Abtragen mittels Laserenergie (Antragsteller Haferkamp, Heinz )
- Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen mittels Festkörperlaserstrahlung (Antragsteller Kreutz, Ernst Wolfgang )
- Herstellung mikrostrukturierter Glasbauteile durch Prägen (Antragstellerin Hülsenberg, Dagmar )
- Herstellung von metallischen Mikrokomponenten durch partielle Galvanoformung auf spritzgegossenen Kunststoffformen (Antragsteller Piotter, Volker )
- Lasergestützte Hochgeschwindigkeitsbearbeitung für die Kleinserienherstellung von 3D-Mikrobauteilen (Antragsteller Sepold, Gerd )
- Maschinenentwicklung zur spanenden Herstellung von Mikrostrukturen (Antragsteller Weck, Manfred )
- Metall-Kapillardruck-Feingießen mikromechanischer Bauteile (Antragsteller Möhwald, Kai )
- Metall-Kapillardruck-Feingießen mikromechanischer Bauteile (Antragsteller Gatzen, Hans-Heinrich )
- Mikrobearbeitung sprödharter Werkstoffe mittels duktilem Trenn- und Profilschleifen (Antragsteller Gatzen, Hans-Heinrich )
- Mikrobearbeitung von Werkzeugbaustoffen durch funkenerosives Schneiden mit Feindrähten (Antragsteller Klocke, Fritz )
- Mikrofunkenerosion in Silizium und Abformung in Kunststoff (Antragsteller Neyer, Andreas )
- Mikroschleifen zur schnellen und flexiblen Strukturierung mikromechanischer Bauteile (Antragsteller Hoffmeister, Hans-Werner )
- Mikrostrukturieren von Bauteilen aus Formgedächtnislegierungen für die minimal-invasive Chirurgie mittels ultrakurzer Laserpulse (Antragsteller Haferkamp, Heinz )
- Mikrozerspanung metallischer Verbundwerkstoffe (Antragsteller Uhlmann, Eckart )
- Minimierung der Rauheit beim Mikroumfangsfräsen durch Analyse der Einflußgrößen auf die Mindestspanungsdicke (Antragsteller Spath, Dieter )
- Minimierung der Rauheit beim Mikroumfangsfräsen durch Analyse der Einflußgrößen auf die Mindestspanungsdicke (Antragsteller Schulze, Volker )
- Numerische Modellierung des mikromechanischen Trennvorganges für Verfahren mit geometrisch bestimmter Schneide (Antragsteller Leopold, Jürgen )
- Optimierung des Werkstoffzustands von Stählen für Mikrofräsbearbeitungen - Prozeßsicherheit, Randschichtzustand und Bauteileigenschaften (Antragsteller Schulze, Volker )
- Prozeßuntersuchung des Spritzgießens von Mikrostrukturen (Antragsteller Michaeli, Walter )
- Pulvermetallurgisches Urformen intermetallischer Mikrobauteile (Antragsteller Möhwald, Kai )
- Qualifizierung des Excimerlaserstrahlabtragens unter Wasser für die Herstellung von mikrosystemtechnischen Komponenten (Antragsteller Geiger, Manfred )
- Schnelle und flexible Mikrostrukturierung von hochfesten Stählen durch Mikroschleifen mit cBN (Antragsteller Hoffmeister, Hans-Werner )
- Schwingungsunterstützte spanende Herstellung von Mikrobauteilen aus Glas und Keramik mit geometrisch bestimmter Schneide (Antragsteller Klocke, Fritz )
- Spanende Fertigung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch Verfahren mit unterbrochenem Schnitt (Antragsteller Spath, Dieter )
- Spritzgießen von Mikrostrukturen (Antragsteller Haußelt, Jürgen )
- Technologische Grundlagen der mikromechanischen Fräsbearbeitung mit Schaftwerkzeugen (Antragsteller Weinert, Klaus D. )
- Untersuchungen zur Fertigung ganzheitlich dreidimensionaler Mikrokomponenten mit gepulster UV-Laserstrahlung (Antragsteller Ostendorf, Andreas )
- Untersuchungen zur integralen Fertigung dreidimensionaler Mikro-Funktionsbauteile (Antragsteller Tönshoff, Hans-Kurt )
Sprecher
Professor Dr.-Ing. Manfred Weck
