Technologische Grundlagen der mikromechanischen Fräsbearbeitung mit Schaftwerkzeugen

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Klaus D. Weinert
• Fachliche Zuordnung: Spanende und abtragende Fertigungstechnik
• Förderung: Förderung von 1996 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5276128

Die Mikrosystemtechnik, die miniaturisierte Integration von Sensoren, Signalverarbeitungselementen und Aktoren zu "intelligenten" Gesamtsystemen, gilt seit langem als eine der zukunftsträchtigsten Technologien. Für die Serienfertigung von Bauteilen und Komponenten von Mikrosystemen kommen bisher vor allem die LIGA-Technik und diverse Ätzverfahren und Strahlverfahren zum Einsatz. Bei der Fertigung kleiner Stückzahlen erweisen sich diese Verfahren jedoch als unwirtschaftlich. Eine interessante Alternative zur Fertigung feinster Strukturen der Mikrosystemtechnik besteht in der mikromechanischen Fräsbearbeitung mit Schaftfräsern. Das Ziel des Fortsetzungsvorhabens ist die weitere Erarbeitung der technologischen Grundlagen der Herstellung von Mikrostrukturen durch das Fräsen mit Schaftwerkzeugen. Die Schwerpunkte liegen in der Optimierung der Prozeßsicherheit, in der Untersuchung und Optimierung von Mikrofräswerkzeugen zur Bearbeitung verschiedener Werkstoffgruppen und der 3- und 2-achsigen Bearbeitung.

• DFG-Verfahren: Schwerpunktprogramme
• Teilprojekt zu: SPP 1012: Mikromechanische Produktionstechnik