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Projekt
3D-Ionenstrahlanalytik zur morphologischen und stofflichen Charakterisierung nano- und mikrodimensionaler Strukturbauelemente und Ionenstrahl-Micromachining
Antragsteller
Professor Dr. Tilman Butz
Fachliche Zuordnung
Experimentelle Physik der kondensierten Materie
Förderung
Förderung von 2003 bis 2007
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5470540
Das Ziel des Projektes ist die Entwicklung einer vollständigen, quantitativen und hochempfindlichen Analytik zur 3D-Charakterisierung von nano- und mikrodimensionalen Bauelementen. Dafür wird RBS (Rutherford Backscattering Spectrometry) unter Verwendung eines facettierten Teilchendetektors und eines euzentrischen Mikrogoniometers in Verbindung mit ergänzenden Methoden, wie STIM-T (Scanning Transmission Ion Micro-Tomography) mit Dichtekontrast und PIXE (Particle Induced X-Ray Emission) für elementspezifische Bilder und Stöchiometrie eingesetzt. Mittels maskenloser Strukturierung von Fotolackschichten auf Zuchtsubstraten und der gezielten Modifizierung der Oberflächeneigenschaften solcher Substrate durch Beschuss mit hoch- und mittelenergetischen Ionen wird das geordnete Wachstum von Arrays aus nanoskopischen Strukturelementen ermöglicht.
DFG-Verfahren
Forschungsgruppen
