Design- and knowledge-based inspection planning for the quality assurance of micro- and nano-scaled components (C05)

• Subject Area: Measurement Systems
• Term: from 2002 to 2013
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5485337

Für die Qualitätsprüfung mit Nanomessmaschinen an mikro- und nanostrukturierten Bauteilen werden aufgrund der außerordentlichen Größenverhältnisse zwischen Messgenauigkeit und Messbereich, die der Detektion eines Sandkorns mit einem Durchmesser von 100 μm in einem Gebiet bis zu 450 km x 450 km x 80 km entsprechen, besondere Anforderungen an eine entwurfs- und wissensbasierte Prüfplanerstellung gestellt. Die Arbeiten des Teilprojektes C5 haben das Ziel, grundlegende Konzeptionen zur Prüfplanung, automatisierten Sensorauswahl und Messablaufsteuerung, die speziell auf die Nanopositionier- und Messmaschine abgestimmt sind, zu erforschen.

• DFG Programme: Collaborative Research Centres
• Subproject of: SFB 622: Nanopositioning- and Nanomeasuring Machines
• Applicant Institution: Technische Universität Ilmenau
• Project Head: Professor Dr.-Ing. Gerhard Linß