Entwurfs- und wissensbasierte Prüfplanerstellung für die Qualitätssicherung von mikro- und nanostrukturierten Komponenten (C05)

• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung von 2002 bis 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5485337

Für die Qualitätsprüfung mit Nanomessmaschinen an mikro- und nanostrukturierten Bauteilen werden aufgrund der außerordentlichen Größenverhältnisse zwischen Messgenauigkeit und Messbereich, die der Detektion eines Sandkorns mit einem Durchmesser von 100 μm in einem Gebiet bis zu 450 km x 450 km x 80 km entsprechen, besondere Anforderungen an eine entwurfs- und wissensbasierte Prüfplanerstellung gestellt. Die Arbeiten des Teilprojektes C5 haben das Ziel, grundlegende Konzeptionen zur Prüfplanung, automatisierten Sensorauswahl und Messablaufsteuerung, die speziell auf die Nanopositionier- und Messmaschine abgestimmt sind, zu erforschen.

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 622: Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
• Antragstellende Institution: Technische Universität Ilmenau
• Teilprojektleiter: Professor Dr.-Ing. Gerhard Linß