Neue Technologieplattform für die "Oberflächennahe Silizium-bulk-Mikromechanik" (C 02)

• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1995 bis 2006
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5479322

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sonderforschungsbereiche
• Teilprojekt zu: SFB 379: Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays
• Antragstellende Institution: Technische Universität Chemnitz
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Thomas Geßner (†)