Simulation der Beschichtungsprozesse für gesputterte Schichtsysteme mit Hilfe der Molekulardynamik-Methode (MD)

• Antragsteller: Dr. Peter Klein
• Fachliche Zuordnung: Produktionsautomatisierung und Montagetechnik
• Förderung: Förderung von 2002 bis 2009
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5354231

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen