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In Silizium integrierter Sensorkopf zur berührungslosen Erfassung von Drehmomenten (C 3)
Fachliche Zuordnung
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung
Förderung von 1994 bis 1999
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5474725
Keine Zusammenfassung vorhanden
DFG-Verfahren
Sonderforschungsbereiche
Teilprojekt zu
SFB 241:
Neue integrierte mechanisch-elektronische Systeme für den Maschinenbau (IMES)
Antragstellende Institution
Technische Universität Darmstadt
Teilprojektleiter
Professor Dr. Werner Langheinrich