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PACVD-Synthese und Charakterisierung von Si/(B)/C/N-Hartstoffschichten für tribologische Anwendungen

Fachliche Zuordnung Chemische und Thermische Verfahrenstechnik
Förderung Förderung von 2001 bis 2006
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5313852
 
 

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