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Grundlagen für die in situ Charakterisierung von Gruppe-IV- Halbleitergrenzflächen mittels nichtlinear-optischer Spektroskopie

Antragsteller Professor Dr. Heinrich Kurz (†)
Fachliche Zuordnung Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung Förderung von 1996 bis 2001
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5277042
 
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DFG-Verfahren Sachbeihilfen
 
 

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