Synthese neuer III-V-Verbindungen und Untersuchungen zur Abscheidung halbleitender Materialien mittels der MOCVD-Methode

• Antragsteller: Professor Dr. Stephan Schulz
• Fachliche Zuordnung: Molekülchemie
• Förderung: Förderung von 1999 bis 2002
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5217434

Ausgehend von den von uns bereits dargestellten Verbindungen vom Typ 1 - 5 sollen Untersuchungen hinsichtlich ihrer Eignung als molekulare Vorstufen für die Abscheidung dünner Filme der entsprechenden III-V-Materialien durchgeführt werden. Darüber hinaus sollen weitere neue Precursoren dargestellt werden. Das Hauptziel sind dabei vor allem Sb-Verbindungen mit den Elementen Al, Ga und In. Diese Verbindungen sollen jedoch im Gegensatz zu den bisher synthetisierten keine Me3Si-Substituenten am Pnikogenatom sondern einfache Alkyl- oder Arylreste tragen. Außerdem soll die Darstellung ternärer Verbindungen des Typs 5 intensiv verfolgt werden.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen