Finishbearbeitung sprödharter, monokristalliner Werkstoffe für den Einsatz in der UV-Mikrolithographie

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Fritz Klocke
• Fachliche Zuordnung: Spanende und abtragende Fertigungstechnik
• Förderung: Förderung von 1999 bis 2004
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5215224

Im vorliegenden Forschungsvorhaben sollen daher grundlegende Untersuchungen zur Finishbearbeitung monokristalliner, sprödharter Werkstoffe durchgeführt werden. Neben der Klärung der Wirkmechanismen beim Materialabtrag zielen die Untersuchungen dabei insbesondere auf die Beurteilung der signifikanten Einflußgrößen sowie deren gegenseitige Wechselwirkungen im Polierprozeß. Grundlage für die Beurteilung ist hierbei nicht allein die Rauheit der Oberfläche und die erzielte Formgenauigkeit, sondern auch die topographische Gestalt sowie die Beschaffenheit der bearbeiteten Randzone im Hinblick auf ihre chemischen und mechanischen Eigenschaften.Die Politur monokristalliner Werkstoffe für die Mikrolithographie ist vor dem Hintergrund der Entwicklung immer leistungsfähiger Mikro-Chips von hohem, globalem Interesse. Die Kenntnis des Forschungsstandes der Technologieführer in den USA respektive Japan ist deshalb von besonderem Interesse und soll dementsprechend durch den Besuch von Fachtagungen in den o.g. Staaten gewährleistet werden.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen