Laterale Depositionssteuerung von Nanometerpartikeln für die Mikroelektronik

• Antragsteller: Professor Dr. Franz-Josef Tegude
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 2000 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5205782

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• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Beteiligte Person: Professor Dr.-Ing. Heinz Fissan