Elektrochemische Präparation von Diffusionsbarrieren für Mehrmetallschichten und ihr Verhalten bei der Fremdmetalldiffusion

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Kurt Drescher
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1995 bis 2001
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5200816

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Beteiligte Person: Dr. Christian Wenzel