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Elektronenstrahlverdampfer

Fachliche Zuordnung Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
Förderung Förderung in 2023
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 518255949
 
Quantensysteme basierend auf supraleitenden Schaltkreisen bieten derzeit eine der vielversprechendsten Plattformen zur Entwicklung von Quantencomputern und zur Untersuchung grundlegender quantenphysikalischer Phänomene. Sowohl in universitären als auch industriellen Forschungseinrichtungen wird daher weltweit und mit Hochdruck an der Weiterentwicklung von supraleitenden Quantenprozessoren geforscht. Insbesondere die Fabrikation solcher Prozessoren stellt eine große Herausforderung dar und erfordert infrastrukturelle Standortbedingungen, die nur an wenigen Plätzen in Deutschland gegeben sind. An der Friedrich-Alexander-Universität in Erlangen soll nun eines der in Deutschland führenden Zentren für die Entwicklung supraleitender Quantencomputer entstehen. Die Herstellung supraleitender Schaltkreise basiert grundlegend auf der Möglichkeit supraleitende Dünnschichten unter hochreinen Bedingungen auf Trägermaterialen wie Silizium aufzubringen und auf Mikro- und Nanometerskalen zu strukturieren. Die Materialqualität dieser Schichten ist dabei ein entscheidender Faktor, um die quantenmechanischen Kohärenzeigenschaften mit hoher Güte zu gewährleisten. Die hier beantragte Elektronenstrahlverdampfungsanlage ermöglicht die Herstellung eben solcher supraleitender Dünnschichten und insbesondere von Josephson-Tunnelkontakten. Die Anlage stellt daher eine Grundvoraussetzung für die Umsetzung sämtlicher am Lehrstuhl geplanten Forschungsvorhaben dar.
DFG-Verfahren Forschungsgroßgeräte
Großgeräte Elektronenstrahlverdampfer
Gerätegruppe 8380 Schichtdickenmeßgeräte, Verdampfungs- und Steuergeräte (für Vakuumbedampfung, außer 833)
 
 

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