Das Entladeverhalten von Mikrohohlkathodenentladungen in Edelgasen bei Normaldruck

• Applicant: Professor Dr. Klaus Frank
• Subject Area: Optics, Quantum Optics and Physics of Atoms, Molecules and Plasmas
• Term: from 1999 to 2005
• Project identifier: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Project number 5177128

Durch Reduzierung der Geometrie von Hohlkathoden bis herunter zu 100 µm ist es gelungen, diese sogenannten Mikrohohlkathoden bis hin zu atmosphärischen Gasdrücken zu betreiben. Dabei findet ein Übergang von einer TOWNSEND- in eine Hohlkathodenentladung mit positiver Strom-Spannungs-Charakterisierung statt. Dies wiederum erlaubt, viele solcher Mikrohohlkathoden parallel auf gemeinsamem Potential zu betreiben, d.h. großflächige Mikrohohlkathoden-Arrays zu entwickeln. Der Betrieb in Edelgasen bzw. Edelgas-Halogengemischen öffnet die Möglichkeit, großflächige Excimer-Strahler hoher Quantenausbeute zu bauen. Das Ziel des Vorhabens ist es, die plasmaphysikalischen Parameter derartiger Mikrohohlkathoden in Hinblick auf die Qualität der UVEmission zu untersuchen und zu optimieren. Um dieses hohe Ziel zu realisieren, wird in direkter Wechselwirkung dazu an der Verfeinerung der unterschiedlichen Mikrostrukturierungsverfahren gearbeitet.

• DFG Programme: Research Grants