ParaCoat - Entwicklung von PECVD-Prozessen zur Reduktion von Systemkontaminationen und der Prozessalterung (T10#)

• Fachliche Zuordnung: Beschichtungs- und Oberflächentechnik
• Förderung: Förderung seit 2023
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 138690629

Die plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) bietet vielfältige Möglichkeiten zur Funktionalisierung von Kunststoffen. Bei der Erzeugung von PECVD-Schichten auf dem Substrat kommt es auch zur unerwünschten Beschichtung von Anlagenteilen. Diese „parasitären“ Abscheidungen beeinflussen die Prozesse teilweise massiv, sodass kurze Wartungsintervalle zur Entfernung dieser Abscheidungen notwendig werden. Im Rahmen des beantragten Transferprojekts sollen die parasitären Abscheidungen charakterisiert und in Kooperation mit einem industriellen Partner, der im Feld der Beschichtung von Verpackungen aktiv ist, entsprechende Gegenmaßnahmen abgeleitet werden. Durch die Erkenntnisse und Maßnahmen wird die Prozessstabilität dieser recyclingfreundlichen Technologie deutlich gesteigert werden.

• DFG-Verfahren: Transregios (Transferprojekt)
• Teilprojekt zu: TRR 87: Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten
• Antragstellende Institution: Ruhr-Universität Bochum
• Unternehmen: Ionkraft GmbH; Plasma Electronic GmbH
• Teilprojektleiter: Professor Dr. Rainer Dahlmann