Großflächige Plasmaquellen mit Multijet-Hohlkathoden-Hochfrequenz-Entladung: Untersuchung, Modellierung und Simulation

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Jürgen Engemann
• Fachliche Zuordnung: Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
• Förderung: Förderung von 1998 bis 2003
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 5123426

Keine Zusammenfassung vorhanden

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen
• Beteiligte Personen: Dr. Dariusz Korzec; Dr. Axel Schwabedissen