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Projekt
Rasterelektronenmikroskop mit fokussiertem Ionenstrahl, FIB-SEM
Fachliche Zuordnung
Systemtechnik
Förderung
Förderung in 2022
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 505067193
Mit dem FIB-SEM soll an der HFU eine integrierte Nanofertigungs- und eine Nanocharakteri-sierung-Fazilität geschaffen werden, die universell, vielfältig und flexibel nutzbar ist und zur lokalen Schichtabscheidung, zum strukturierenden Materialabtrag mit nm-Auflösung und zur analytischen Charakterisierung mit hochauflösender in-situ Präparation einsetzbar ist. Laut Nutzungskonzept ist die Hauptnutzung durch 5 antragstellende Professoren und ihre AG vor-gesehen. Das Gerät soll in die vorhandenen Prozesse insb. der Si- und SOI-basierten Mikrotechnik integriert werden, womit neue Strukturierungs- und Abscheideverfahren erforscht wer-den können, die weder durch FIB-SEM alleine noch durch die üblichen Mikro- und Nanostrukturierungsverfahren möglich sind. Mit neuartigen lokalen Schichtabscheide- und Materialabtragsverfahren können dann insb. Demonstratoren von Mikro- und Nanosystemen zur Erforschung neuer Systemprinzipien auf der Mikro- und Nanoskala generiert werden. Damit stellt die Investition eine deutliche Erweiterung zur bereits vorhandenen Prozesslinie im Technologielabor für Mikro- und Nanosysteme dar. Die Strukturierung auf der nm-Skala ermöglicht auch die Realisierung von Metamaterialien und erweitert die in der AG Mescheder seit Jahren erfolgreich betriebene Forschung auf dem Gebiet nanoskaliger Metamaterialien mittels Selbstorganisationsprozessen. Die Charakterisierungsmöglichkeiten werden zur Prozessent-wicklung (insb. für ALD, langzeitstabilen Barriereschichten, AG Bucher) und zur Analyse neuer Fertigungsverfahren (Werkzeug-, Werkstück- & Materialuntersuchungen, additive Fertigung, AG Azarhoushang und Mozaffari) dringend benötigt. Forschungsthemen wie Poröses Silizium (PSi) und seine Anwendungen, Flexible Elektronik und Sensorik, Produktionstechnologie, Molekulare Diagnostik mit Nanoporen (AG Deigner), sowie Materialforschung und -entwicklung werden nachhaltig gestärkt. Die Forschungskompetenzen der beteiligten AG decken verschiedene Wissenschaftsdisziplinen ab: Systemtechnik (Mikrosysteme, biomedizinische Systemtechnik); Materialwissenschaften (Herstellung, Entwicklung und Eigenschaften von Funktions- und Metamaterialien); Produktionstechnik (spanende, abtragende und additive Fertigungstechnik) sowie Biochemie, analytische Chemie und Oberflächenanalytik und adressieren mehrere aktuelle Forschungsthemen u.a. Mikroelektronik, Nanotechnologie und optische Technologien. Durch die geplante Investition werden zahlreiche laufende und geplante Forschungsprojekte der beteiligten AG unterstützt und die Forschungsprofilierung der Beteilig-ten auch international sichtbar verstärkt. Das FIB-SEM verbessert den Zugang der beteiligten AG zu Bundes- und europäischen Programmen sowie internationale Kooperationsmöglichkeiten. Die Forschungsanlage stärkt auch die methodischen Möglichkeiten zur Durchführung der zahlreichen durch die Antragsteller betreuten Promotionen (4 der Antragsteller sind bereits an Universitäten assoziiert).
DFG-Verfahren
Forschungsgroßgeräte
Großgeräte
Rasterelektronenmikroskop mit fokussiertem Ionenstrahl, FIB-SEM
Gerätegruppe
8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
Antragstellende Institution
Hochschule Furtwangen
