Gloveboxintegrierte Aufdampfanlage

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2021
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 463348894

Weiche auf der Haut tragbare Sensorsysteme bieten völlig neue Möglichkeiten für die kontinuierliche und komfortable Gesundheitsüberwachung. So wurde in der Literatur zum Beispiel ein Sensor-“Pflaster” mit Funkverbindung zur Aufzeichnung eines ein Elektrokardiogramm (EKG) demonstriert. In einem weiteren Schritt können weiche Sensor-Implantate – eventuell auch mit einer Wirkstofffreigabe – realisiert werden, die ebenfalls ganz neue Form- und Funktionsmöglichkeiten im Körper bieten. Optische Messmethoden werden heutzutage sowohl in der Bildgebung als auch in biomedizinischen Molekulardiagnosesystemen vielfältig eingesetzt. Um Messmethoden wie die Absorptionsmesstechnik oder die Fluoreszenzmesstechnik in neuartige weiche Sensorsysteme integrieren zu können, sind neue Materialklassen neben den anorganischen Halbleitermaterialien sowie neue Verfahren für die monolithische Integration auf weichen Substraten notwendig. Optoelektronische Bauelemente auf Basis organischer Halbleitermaterialien sind auf einer Vielzahl von Substraten prozessierbar und die optischen Eigenschaften können mit Hilfe der Prinzipien der organischen Chemie maßgeschneidert werden. Daher sind organische Leuchtdioden (OLEDs) und organische Photodetektoren (OPDs) sehr vielversprechen für neuartige weiche, biegbare und dehnbare Sensorsysteme. Am Lehrstuhl für Integrierte Systeme und Photonik der Christian-Albrechts-Universität zu Kiel werden organische optoelektronische Bauelemente – organische Leuchtdioden (OLEDs) und organische Photodetektoren (OPDs) – für optische Ausleseeinheiten in flexiblen, biegsamen, dehnbaren und miniaturisierten Sensorsystemen erforscht. Basierend auf den eigenen umfangreichen Vorarbeiten zu miniaturisierten Sensorsystemen und organischer Optoelektronik, soll die hier beantragte gloveboxintegrierte Aufdampfanlage dazu genutzt werden, OLED-OPD-basierte optische Messsysteme für flexibel biegbare und dehnbare sowie weiche Substrate zu erforschen. Bisher steht am Lehrstuhl dafür nur eine einfache Beschichtungsanlage aus dem Jahr 2009 zur Verfügung. Diese bietet nur einen Shutter vor dem Substrat, keine Shutter über den Quellen und keinen automatisierten rezeptgesteuerten Betrieb und Maskenwechsel. Somit sind keine Parametervariationen ohne Ausschleusung der Proben aus der Anlage möglich. Für den Erfolg der Forschung ist daher die Anschaffung einer neuen Hochvakuum-Aufdampfanlage dringend erforderlich. Flüssigphasenprozessschritte sowie die abschließende Charakterisierung und Verkapselung sollen in einer Glovebox in Stickstoffatmosphäre stattfinden. Dafür muss die Glovebox fest mit der Aufdampfanlage verbunden sein.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Gloveboxintegrierte Aufdampfanlage
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Christian-Albrechts-Universität zu Kiel
• Leiterin: Professorin Dr. Martina Gerken