Optisches Metrologiesystem

• Fachliche Zuordnung: Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen
• Förderung: Förderung in 2020
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 453679893

Wir beantragen ein Optisches Metrologiesystem als eine von drei Hauptkomponenten einer modularen Nanoproduktionsanlage. Als integraler Bestandteil der Anlage wird das System geometrische multiskalige und hochaufgelöste Messungen von 2D, 2,5D und 3D Mikro- und Nanostrukturen ermöglichen. Das Messsystem umfasst fünf Modalitäten: (i) Interferenzmikroskopie, (ii) Dünnfilmmessung, (iii) konfokale Mikroskopie, (iv) Variation des aktiven Beleuchtungsfokus, und (v) Rasterkraftmikroskopie, die in einem einzigen Offline-Modul enthalten sind. Es wird zur genauen Messung der Strukturgeometrien, Abmessungen, Strukturgrößen und Oberflächenrauheiten verwendet.In der modularen Nanoproduktionsanlage wird das Optische Metrologiesystem zur Messung und Charakterisierung von 2D, 2,5D und 3D Mikro- und Nanostrukturen verwendet, die sowohl mit einem Laser-Nanofabrikationssystem auf Basis der Zwei-Photonen-Polymerisation (TPP) als auch mit einem Nanoimprint-Lithographiesystem (UV-NIL) realisiert werden. Alle Module werden zu einer multiskaligen Produktionskette zur Realisierung verschiedener integrierter optischer Elemente, Subsysteme und ganzer Funktionssysteme für vielfältige Anwendungen von optischen Netzwerken über Monitoring und Sensorik bis hin zu Bildgebung und Metamaterialien zusammengesetzt.Das beantragte Optische Metrologiesystem – und letztlich die modulare Nanoproduktionsanlage - bietet eine kombinierte Produktions- und Charakterisierungsumgebung und wird von den Gruppen der vier Hauptnutzer und einer Reihe zusätzlicher Kooperationspartner umfassend genutzt. Für den optimalen Zugang und Betrieb wird es in eine gemeinsame Infrastruktur integriert. Betrieb und Service werden zentral von einer Arbeitsgruppe der Antragsteller organisiert.Das beantragte System ist derzeit in den Gruppen der geplanten Benutzer nicht verfügbar.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Optisches Metrologiesystem
• Gerätegruppe: 0910 Geräte für Ionenimplantation und Halbleiterdotierung
• Antragstellende Institution: Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
• Leiter: Professor Dr. Bernhard Roth