Dual-Beam-FIB/SEM-Anlage

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2018
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 402791620

Das Ziel des Forschungsbaus LENA (Laboratory for Emerging Nanometrology) ist die Etablierung einer rückführbaren Metrologie auf der Nanoskala. Hierfür werden einerseits Nanostrukturen für die Metrologie hergestellt und erforscht, andererseits aber auch auf der Nanoskala rückführbare Messmethoden entwickelt. Für die gezielte Bearbeitung einzelner Nanostrukturen soll ein Dual-beam FIB-SEM zum Einsatz kommen, das die flexible Erzeugung und Manipulation sowie eine weitgehende Analyse solcher Nanostrukturen erlaubt. Die amorphisierte Schicht an der Oberfläche soll möglichst unter einem Nanometer liegen. Um das zu erreichen, ist eine Niederenergie-Beschleunigung ) der Ionen notwendig. Um noch vorhandene Oberflächenkontaminationen zu entfernen ist ein Plasma-Cleaner anzuschaffen. Um die zu präparierenden Schichten vor Strahlenschäden zu bewahren bzw. Aufladungseffekte von nichtleitenden Oberflächen zu verhindern, ist die Oberflächendeposition z.B. von Metallen mit verschiedenen GasInjektions-Systemen notwendig. Darüber hinausgehende Analysen sollen in einem höchstauflösenden Transmissions-Elektronen-Mikroskop erfolgen, für das Dünnschnitte mit dem FIB-SEM präpariert werden. Dazu ist ein dezidierter Nanomanipulator notwendig, der das Manipulieren und Transferieren der TEM-Lamellen vom Substrat zum TEM-Probenhalter ermöglicht.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Dual-Beam-FIB/SEM-Anlage
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Technische Universität Braunschweig
• Leiter: Professor Dr. Andreas Hangleiter