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Lokale eingegrenzte, laserinduzierte Plasmen zum schädigungsarmen, direkten Schreiben von Strukturmustern durch präzises reaktives Ätzen

Antragsteller Dr.-Ing. Klaus Zimmer
Fachliche Zuordnung Herstellung und Eigenschaften von Funktionsmaterialien
Förderung Förderung von 2018 bis 2022
Projektkennung Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 392226212
 
Erstellungsjahr 2023

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