On-Wafer Netzwerkanalysator

• Fachliche Zuordnung: Elektrotechnik und Informationstechnik
• Förderung: Förderung in 2017
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 350419038

Für die On-Wafer Netzwerkanalyse werden eine Probenstation und ein Netzwerkanalysator benötigt. Der Netzwerkanalysator dient zur vektoriellen Messung der Zwei-Tor Streuparameter im Frequenzbereich von 10 MHz bis über 110 GHz sowie zur Spektrums Analyse im Frequenzbereich der Streuparametermessung und darüber hinaus. Die Messungen sind zur Bestimmung der Kleinsignalersatzschaltbilder elektronischer Bauelemente für höchste Frequenzen erforderlich. Hierzu sind sehr präzise und sehr breitbandige On-Wafer Messungen kleinster Reaktanzen mit höchster Präzision durchzuführen. Die Ersatzschaltbilder sind zur Ermittlung parasitärer Begrenzungen der Bauelemente unabdingbar. Weiterhin bilden diese Modelle die Basis für die Schaltungssimulation. Die Leistungsfähigkeit der Schaltungssimulation und damit der Schaltung ist so mit der Präzision der Bauelemente Messtechnik verknüpft. Dies gilt gleichermaßen für aktive Bauelemente wie für passive Bauelemente wie Leitungen, Widerstände, Kapazitäten und Antennen. Die im Zwei-Tor Netzwerkanalysator verfügbare Funktion der Spektralanalyse wird zur Erfassung von parasitären und explizit erzeugten höheren Frequenzen eingesetzt und soll z. B. zur Messung subharmonisch angeregter Oszillatoren verwendet werden.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: On-Wafer Netzwerkanalysator
• Gerätegruppe: 6380 Frequenzanalysatoren, Schwingungsanalysatoren
• Antragstellende Institution: Universität Duisburg-Essen
• Leiter: Dr.-Ing. Werner Prost