Vakuum-Inertgas-Bedampfungsanlage

• Fachliche Zuordnung: Physik der kondensierten Materie
• Förderung: Förderung in 2015
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 286591649

Die wissenschaftliche Arbeit der Professur "Optik und Photonik kondensierter Materie" ist auf grundlagenorientierte, anwendungsbezogene Fragestellungen zur Physik organischer und anorganischer Halbleitersysteme und deren Wechselwirkung mit Licht ausgerichtet. Dies schließt insbesondere die Untersuchung von entsprechenden Bauteilen wie Solarzellen, Photosensoren und lichtemittierenden Dioden ein. Die dafür verwendeten Materialien verändern sich durch die Einwirkung von Sauerstoff und Wasserdampfteils reversibel, teils irreversibel. Um eine kontrollierte Herstellung von Dünnschichten und Bauteilen aus diesen Halbleitern zu ermöglichen, ist eine Prozessierung und Charakterisierung unter definierten, inerten Umgebungsbedingungen unverzichtbar. Nur so lässt sich beispielsweise der Einfluss von Sauerstoffdotierung auf Photophysik und Ladungstransport untersuchen. Es wird daher eine Inertgasanlage (Glovebox) beantragt, welche diese definierte Umgebung bereitstellt. Das beantragte Gerät beinhaltet integrierte Vakuumbeschichtungsanlagen zur thermischen Verdampfung von Metallen, organischen und anorganischen Halbleitern zur Herstellung elektronischer und optoelektronischer Bauelemente. Die Anschaffung einer solchen Inertgasanlage ist eine Grundvoraussetzung für die erfolgreiche wissenschaftliche Arbeit in der Professur.

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Vakuum-Inertgas-Bedampfungsanlage
• Gerätegruppe: 8330 Vakuumbedampfungsanlagen und -präparieranlagen für Elektronenmikroskopie
• Antragstellende Institution: Technische Universität Chemnitz
• Leiter: Professor Dr. Carsten Deibel