Pico-AFM höchster Präzision für die Nanometrologie und Nanofabrikation

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Eberhard Manske
• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung von 2015 bis 2021
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 274917136

Der Projektgegenstand ist ein Pico-AFM höchster Präzision mit aktiven Sonden für Hochgeschwindigkeitsmessungen und Nanofabrikation in großen Bereichen. Die aktiven Cantilever mit thermomechanischer Aktuation, piezoresistiven Auslenkungsdetektion und langlebigen Diamantspitzen bieten in Verbindung mit der Nanopositionier- und Nanomessmaschine ein sehr großes Potential bei der Vermessung und Inspektion von Nanostrukturen mit Subnanometerauflösung innerhalb des ganzes Bewegungsbereiches der Nanomessmaschine. Für die hochpräzisen AFM-Messungen soll die Rückführbarkeit der Erfassung der Cantileverauslenkung gewährt werden. Dies wird mittels des in der ersten Projektphase konzipierten optischen Pico-Lagedetektors realisiert.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen