Dual-Beam Focused Ion Beam (FIB)

• Fachliche Zuordnung: Materialwissenschaft
• Förderung: Förderung in 2013
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 235805850

„Die AG Elektronenmikroskopie betreibt am Department Werkstoffwissenschaften ein Labor mit drei Transmissionselektronenmikroskopen, darunter das im Rahmen des Exzellenzclusters Engineering of Advanced Materials (EXC 315) beschaffte aberrationskorrigierte Gerät. In ihrer Forschung nutzt die Arbeitsgruppe die breite Palette moderner TEM-Verfahren zur mikroskopischen Charakterisierung unterschiedlichster Materialen. Hierbei ist sie in eine Reihe materialwissenschaftlich ausgerichteter Verbundprojekte eingebunden. Die beantragte Dual-beam FIB stellt ein essenzielles Tool für die Zielpräparation von TEM-Proben dar und wird von der Arbeitsgruppe für ihre vielseitigen Arbeiten dringend benötigt. Bislang bestand nur eingeschränkt (und übergangsweise) Zugang zu einem solchen Gerät. Wichtige FIB-Anwendungen betreffen u.a. (i) die Zielpräparation ausgewählter Probenbereiche mittels lift-out, (ii) das Schneiden von Kompositen und Schichtstrukturen aus harten und weichen Materialien, (iii) die gezielte TEM-Querschnittspräparation einzelner Nanopartikel (shadow-FIB Eigenentwicklung), (iv) die Herstellung von Säulenstrukturen für die 360°- Elektronentomographie, (iv) das Schneiden unterschiedlicher Probengeometrien für in-situ nanomechanisches Testen im TEM. Die FIB wird durch die Arbeiten der AG Elektronenmikroskopie weitgehend ausgelastet sein. Verbleibende Nutzungszeiten sollen in der CENEM-Nutzereinrichtung eingesetzt werden.“

• DFG-Verfahren: Forschungsgroßgeräte
• Großgeräte: Dual-Beam Focused Ion Beam (FIB)
• Gerätegruppe: 5120 Rasterelektronenmikroskope (REM)
• Antragstellende Institution: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
• Leiter: Professor Dr. Erdmann Spiecker