Hochauflösendes Dünnschicht-Röntgendiffraktometer
Zusammenfassung der Projektergebnisse
Das hochauflösende Dünnschicht-Röntgendiffraktometer wurde im November 2013 in Betrieb genommen. Innerhalb des Zentrums für Materialforschung wird das Gerät insbesondere zur Analyse von Halbleiterstrukturen mit großer Bandlücke eingesetzt, die mittels Molekularstrahlepitaxie hergestellt wurden. Dabei handelt es sich um Gruppe III-Nitrid- sowie Gruppe II-Oxid-Verbindungen. Um Rückschlüsse auf den Wachstumsprozess zu erhalten, wurden mithilfe des Röntgendiffraktometers verschiedene Untersuchungen vorgenommen. Diese beinhalten die Bestimmung von Legierungszusammensetzungen in Heterostrukturen (sowohl in Schichten wie auch in AlGaN/GaN- Nanodrähten), die Bestimmung von Verspannungszuständen mithilfe von Reciprocal Space Maps, die Bestimmung von Periodizitäten (Schichtdicken) in AlGaN/GaN-Übergitterstrukturen und die Bestimmung von Halbwertsbreiten zur Optimierung der Schichtqualitäten. Mit Hilfe einer heizbaren Kammer (Heatstage) konnten zudem in-situ Phasenumwandlungen im Ga2O3-Schichtsystem nachgewiesen werden. Außerdem dient das Gerät zur Überprüfung der Kristallinität von oxidischen Dünnschichten, z. B. aus ZrOx, CeOx oder CeTiOx. Mit Hilfe der Heizkammer kann an zunächst amorphen Dünnschichten der Kristallisationsprozess untersucht werden. Schließlich konnten GIXRD-Messungen zur strukturellen Charakterisierung des NASICON-Festelektrolyts Li(1+x)Al(x)Ti(2-x)(PO4)3 (LATP) und des Hochvolt-Kathodenmaterials LiCoPO4 durchgeführt werden, sowohl zur Phasenidentifizierung als auch zur Bestimmung der Kristallinität. Zudem wurde das Dünnschicht-Diffraktometer für die Untersuchung von dünnen, mesoporösen Schichten aus kristallinen Metalloxiden verwendet, insbesondere hinsichtlich der Kristallinität und Vorzugsorientierung. Diese Arbeiten sind Teil verschiedener Landes- und Drittmittelprojekte.
Projektbezogene Publikationen (Auswahl)
- Applied Physics Letters 104, 102104 (2014)
P. Hille, J. Müßener, P. Becker, M. de la Mata, N. Rosemann, C. Magén, J. Arbiol, J. Teubert, S. Chatterjee, J.Schörmann, and M. Eickhoff
(Siehe online unter https://doi.org/10.1063/1.4868411) - Nanotechnology 26, 435201 (2015)
C. B. Lim, A. Ajay, C. Bougerol, B. Haas, J. Schörmann, M. Beeler, J. Lähnemann, M. Eickhoff, and E. Monroy
(Siehe online unter https://doi.org/10.1088/0957-4484/26/43/435201) - Physical Review B 91, 205440 (2015)
M. Beeler, C. B. Lim, P. Hille, J. Bleuse, J. Schörmann, M. de la Mata, J. Arbiol, M. Eickhoff, and E. Monroy
(Siehe online unter https://doi.org/10.1103/PhysRevB.91.205440) - Thermomigration and Soret effect
in NaxCoO2 as thermoelectric material: Preparation and characterization
of sodium cobaltate thin films. Phys. Status Solidi A, 213(5) (2015) 1284-1295
C. Schneider, P. Schichtel, B. Mogwitz, R. Straubinger, A. Beyer, M. Rohnke, K. Volz, and J. Janek
(Siehe online unter https://doi.org/10.1002/pssa.201670631) - J. Phys. D: Appl. Phys. 49, 445301 (2016)
A. Ajay, J. Schörmann, M. Jiménez-Rodriguez, C. B. Lim, F. Walther, M. Rohnke, I. Mouton, L. Amichi, C. Bougerol, M. I. Den Hertog, M. Eickhoff, and E. Monroy
(Siehe online unter https://doi.org/10.1088/0022-3727/49/44/445301) - Japanese Journal of Applied Physics 55, 05FG05 (2016)
C. B. Lim, M. Beeler, A. Ajay, J. Lähnemann, E. Bellet-Amalric, C. Bougerol, J. Schörmann, M. Eickhoff, and E. Monroy
(Siehe online unter https://doi.org/10.7567/JJAP.55.05FG05) - Journal of Crystal Growth 436, 87 (2016)
M. Kracht, J. Schörmann, and M.Eickhoff
(Siehe online unter https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2015.11.041) - Nanotechnology 27, 145201 (2016)
C. B. Lim, A. Ajay, C. Bougerol, J. Lähnemann, F. Donatini, J. Schörmann, E. Bellet-Amalric, D. A. Browne, M. Jiménez-Rodríguez, and E. Monroy
(Siehe online unter https://doi.org/10.1088/0957-4484/27/14/145201) - Synthesis and full characterization of the phase-pure pyrochlore-Ce2Zr2O7 and the k-Ce2Zr2O8 phases. Applied Catalysis B: Environmental 197 (2016) 23–34
Urban, S.; Dolcet, P.; Möller, M.; Chen, L.; Klar, P. J.; Djerdj, I.; Gross, S.; Smarsly, B. M.; Over, H.
(Siehe online unter https://doi.org/10.1016/j.apcatb.2016.03.049)
