Hyperspektrales chromatisches Reflektometer zur Vermessung bewegter Objekte

• Antragsteller: Professor Dr.-Ing. Alexander W. Koch
• Fachliche Zuordnung: Messsysteme
• Förderung: Förderung von 2012 bis 2017
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 227527526

Die Überwachung von Topographie und Schichtdicke ist ein wichtiger Teil vieler Prozessketten, z.B. in der Halbleiterproduktion. Am Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik wurde bereits ein 1D-Messsystem zur Schichtdickenüberwachung entwickelt, welches gleichzeitig den Abstand zum Messobjekt zu messen vermag. Somit sind die simultane Rekonstruktion der Oberflächentopographie und der Schichtdicke möglich. Da das Messsystem aber nur in einer Dimension messen kann, ist ein laterales Abtasten der Oberfläche nötig. Eine ähnliche Aufgabe wird bereits in der satellitengestützten Vermessungstechnik bewältigt: Ein bildgebendes Hyperspektralsystem tastet die Oberfläche eines Planeten spektrometrisch ab und ermöglicht so Rückschlüsse auf Oberflächengegebenheiten.Ziel dieses Forschungsvorhabens ist es, Erfahrungen aus den beiden Bereichen zu kombinieren. Am Ende dieses Forschungsprojekts wird ein flächenhaft messendes, hyperspektrales Dünnschichtreflektometer aufgebaut sein, das die gleichzeitige Messung von Topographie und Schichtdicke ermöglicht. Der Einsatz an ausgewählten Massenproduktionsanwendungen, z.B. in der Halbleiterproduktion, der Medizintechnik, der organischen Sensorik oder der Biotechnologie wird mittels Simulationen und Experimenten untersucht werden.

• DFG-Verfahren: Sachbeihilfen