Detailseite
Projekt
SiCer-Technologie für HF-MEMS
Antragsteller
Professor Dr.-Ing. Jens Müller
Fachliche Zuordnung
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung
Förderung von 2012 bis 2019
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 169536409
Teilprojekt 7 der Forschergruppe MUSIK konzentriert sich auf die Erforschung und Implementierung des neuartigen SiCer Silicium‐Keramik‐Verbundsubstrats unter Berücksichtigung der Anforderungen an ein funktionstüchtiges MEMS‐radio‐Frontend. Diese Aufgabe beinhaltet Entwurf (in Zusammenarbeit mit allen Teilprojekten), Layout und technologische Umsetzung des Verbundsubstrats durch Kombination von Verfahren der Silicium‐MEMS‐Technologie und der Multilagen‐Keramik‐ Technologie LTCC. Das Teilprojekt ermöglicht die Implementierung passiver elektrischer und thermischer HF‐Funktionsgruppen in das Verbundsubstrat sowie eine darauf basierende hybride Aufbauund Verbindungstechnik von zusätzlichen externen Baugruppen. Die aus der Aufgabenstellung resultierende prozesstechnische Verkettung zwischen Teilprojekt 6 und Teilprojekt 7 wird am Zentrum für Mikro‐ und Nanotechnologien der TU Ilmenau ermöglicht. Die Forschungsschwerpunkte in Teilprojekt 7 betreffen insbesondere die Kompatibilität der für SiCer‐basierte HF‐MEMS‐Funksysteme geeigneten Materialien (LTCC‐Pastensysteme), HF‐taugliche Leitungsführungen, isolierte metallische Durchkontaktierungen durch das Gesamtsubstrat, die Erzeugung von Kavitäten und Durchbrüchen in beiden Materialkomponenten (Silicium und LTCC), Häusung aus Silicium‐adaptierter Keramik sowie das thermische Verhalten des Gesamtsystems.
DFG-Verfahren
Forschungsgruppen
