Detailseite
Projekt
HF-Frontend-Funktionsgruppen
Antragsteller
Professor Dr. Matthias Hein
Fachliche Zuordnung
Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Förderung
Förderung von 2012 bis 2019
Projektkennung
Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 169536409
Das Teilprojekt 3 umfasst Konzeption, Entwurf, Simulation und HF‐Charakterisierung ausgewählter Baugruppen und Teilschaltungen des in der Forschergruppe MUSIK zu entwerfenden mikroelektromechanischen Frontends. Der Fokus richtet sich auf schwingfähige HF‐MEMS sowie Zusammenführung elektronischer und mechanischer Funktionen. Als Kernkomponente wird der Referenzoszillator betrachtet, der besonders von der Kombination und Hybridintegration mikroelektromechanischer und mikroelektronischer Konstituenten profitiert. Daher steht die Realisierung von Mehrfrequenz‐ MEMS‐Oszillatoren auf Basis der in den Teilprojekten 6 und 7 entwickelten und implementierten SiCer‐Verbundsubstrate im Vordergrund. Hierzu werden piezoelektrisch betriebene hochgütige Dehnmoden‐MEMS‐Resonatoren entworfen. Diese werden im nächsten Schritt mithilfe einer CMOSSchaltung, die insbesondere Funktionen der Temperaturkompensation berücksichtigt, zu einem hybridintegrierten Oszillator vervollständigt. Die MEMS‐Oszillatoren werden für verschiedene exemplarische Referenzfrequenzen in einem breiten Spektrum vom kHz‐ bis in den GHz‐Bereich entworfen, aufgebaut und verifiziert, um dann unter Verwendung von CMOS‐Schaltern zu Mehrfrequenzoszillatoren ausgebaut zu werden. Dabei kommen die in den Teilprojekten 1 und 5 entwickelten Werkzeuge und Methoden für den integrierten Entwurf heterogener HF‐Systeme zum Einsatz.
DFG-Verfahren
Forschungsgruppen
