GRK 1401:  Nano- und Biotechniken für das Packaging elektronischer Systeme

• Fachliche Zuordnung: Systemtechnik
• Förderung: Förderung von 2006 bis 2015
• Projektkennung: Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) - Projektnummer 20046032

• Erstellungsjahr: 2016

Zusammenfassung der Projektergebnisse

Das Packaging ist der Teil der Technik, der Funktionskomponenten zu technischen Systemen zusammenführt und die Funktion der Komponenten und des Gesamtsystems unter zugelassenen Umgebungsbedingungen aufrecht erhält und sichert. Es muss folgende Aufgaben erfüllen: geometrische Anordnung der Funktionskomponenten im System; die Energie- bzw. Stromversorgung (einschließlich struktureller werkstoffwissenschaftlicher und elektromagnetischer Aspekte); Signalverteilung (einschließlich topologischer und elektromagnetischer Aspekte); Verlustwärmeabführung; Schutz aller Teilkomponenten und des Gesamtsystems gegen mechanische, chemische, elektromagnetische und andere Störungen, Kompatibilität zur Umgebung. Das Packaging ermöglicht damit überhaupt erst, dass physikalische, chemische oder biologische Funktionsprinzipien als technische Systeme handhabbar werden. Mit der fortschreitenden Integrationsdichte mikroelektronischer Systeme und der weiteren Entwicklung der Mikro- und Nanosystemtechnik sowie der Biotechnologie steigen die Anforderungen an das Packaging hinsichtlich der Miniaturisierung, der Integration zusätzlicher nichtelektrischer Informations- und Stoffflüsse in solchen Systemen und die Implementierung selektiver Schutzmechanismen. Das Graduiertenkolleg hat für solche Systeme mit extremen Anforderungen durch die Anwendung von Nano- und Biotechniken neue, innovative Packaginglösungen entwickelt und untersucht. Beispielhaft seien genannt: Verwendung von Biomolekülen: Biomoleküle sind Polymere, deren charakteristische Dimension im Nanometerbereich liegt und deren Struktur und Abmessungen sich auswählen bzw. sogar präzise einstellen lassen. Damit eignen sie sich z.B. direkt als Leitbahnen oder auch als nanolithografische Masken. Für die Verdrahtung mikroelektronischer sowie mikro- und nanoelektromechanischer Systeme mit Strukturbreiten von weit unter 100 nm ließen sich SWCNT (single-walled carbon nanotubes) verwenden, deren Wachstum auf speziellen Proteinen gezielt gesteuert werden kann. Solche Proteine wurde wiederum über ein biologisches Templating auf geeigneten Substraten assembliert.  Mit solchen Techniken ist die Herstellung von Vias möglich, wobei wegen des dreidimensionalen Charakters neue Entwurfsregeln für die Systemverdrahtung entwickelt werden mussten, da anders als bei der klassischen Mikroelektronik die dreidimensionale elektrisch-thermisch-mechanischen Verkopplungen einschließlich solcher effekte wie Thermomigration berücksichtigt werden müssen. Wegen der Vielzahl von biomedizinischen und biotechnologischen Anwendungen wird eine immer größere Zahl von Mikro- und Nanosystemen im Kontakt mit lebenden Zellen eingesetzt. Ein solcher Kontakt zwischen technischen und biologischen Systemen ist wegen der Biokompatibilität und der Arbeitsbedingungen des technischen Systems äußerst problematisch. Deshalb wurden Packaging-Lösungen entwickelt und erforscht, mit denen z.B. Zellen durch ein stationäres elektrisches Feld stimuliert und damit hinsichtlich Form, Orientierung, Entwicklung und Bewegungsrichtung gezielt beeinflusst werden können. Besonderer Fokus lag auf Grenzflächen (z.B. Mikroelektronden-Arrays) ohne metallische Elektroden (die die Zellen im Gleichfeld in kurzer Zeit vergiften würden). Für praktische Anwendungen erforderte dies immer die Verbindung mit einem mikrofluidischen System.

Projektbezogene Publikationen (Auswahl)

• Utilizing Dog-Boning to Build up High-Aspect-Ratio Nanofences. Journal of The Electrochemical Society 161 (1), D26-D30
  G. Scheunert, V. Hoffmann, R. Kullock, JR. Whyte, R. Kirchner, S. Grafström
  
• Conducting Silver Hybrid Particles for RFID Application Proceedings Mikrosystemtechnik Kongress 2007, 821
  A. Türke, A. Pich, H.-J. P. Adler
  
• White CdS Nanoluminophore based Tunable Hybrid Light Emitting Diodes, Lasers and Electro-Optics Society 2007, 602-603
  S. Nizamoglu, E. Mutlugun, O. Akyuz, N. K. Perkgoz, H. V. Demir, L. Liebscher, S. Sapra, N. Gaponik, A. Eychmüller
  
• White CdS Nanoluminophore based Tunable Hybrid Light Emitting Diodes. Lasers and Electro-Optics Society 2007, 602-603
  S. Nizamoglu, E. Mutlugun, O. Akyuz, N. K. Perkgoz, H. V. Demir, L. Liebscher, S. Sapra, N. Gaponik, A. Eychmüller
  
• Detection of DNA Using Dielectrophoresis. INASCON 2008, Aarhus (Denmark), September 27 – 30, 2008
  A. Henning, E. Reiß, R. Hölzel, F. F. Bier
  
• Determination of the Dielectrophoretic Behaviour of DNA up to 500 MHz. DNA-based Nanodevices 2008, Jena (Germany), May 29-31, 2008
  M. Seidel, A. Henning, E. Reiß, R. Hölzel, F. Bier
  
• Electrical Detection of DNA. DNA-based Nanodevices 2008, Jena (Germany), May 29-31, 2008
  A. Henning, E. Reiß, R. Hölzel, F. Bier
  
• Faseroptischer Sensor mittels Oberflächenplasmonen-Resonanz. Scientific Reports der Hochschule Mittweida. IWKM, 2008
  T. Schuster, R. Herschel, C. G. Schäffer
  
• Label-Free Electrical Quantification of the Dielectrophoretic Response of DNA. PMC Biophysics 2008; 1: 4
  A. Henning, J. Henkel, F. F. Bier, R. Hölzel
  
• Laser drilled through silicon vias: Crystal defect analysis by synchrotron x-ray topography, 2nd Electronics System- Integration Technology Conference, 2008
  R. Landgraf, R. Rieske, AN Danilewsky, KJ Wolter
  
• The evaluation of thin electroless plated metal layers by means of Surface Plasmon Resonance. Photonics and Microsystems, 2008 International Students and Young Scientists Workshop, pages 23-27. IEEE, 2008
  R. Herschel, T. Schuster, C.G. Schäffer
  
• White emitting CdS quantum dot nanoluminophores hybridized on near-ultraviolet LEDs for high-quality white light generation and tuning. New Journal of Physics 2008, 10(2), 23026
  S. Nizamoglu, E. Mutlugun, O. Akyuz, N. Kosku Perkgoz, H. Volkan Demir, L. Liebscher, S. Sapra, N. Gaponik, A. Eychmüller
  
• Concept for a fiber-optic sensor utilizing surface-plasmon waves. Proceedings of Eurosensors Conference XXIII, pages 309-312. Elsevier, 2009
  T. Schuster, N. Neumann, C.G. Schäffer
  
• Electrical Detection of DNA. Intern. Conference DNATEC09, Dresden (Germany), May 11 – 15, 2009
  A. Henning, R. Hölzel, F. F. Bier
  
• Faseroptischer Oberflächenplasmonen-Resonanz-Sensor Tagungsband 6. Deutsches BioSensor Symposium. 2009
  T. Schuster, C. G. Schäffer
  
• Functionalization of polymer sensor surfaces by oxygen plasma treatment, 2009, Procedia Chemistry 1 (1), 1015-1018
  R. Landgraf, M. K. Kaiser, J. Posseckardt, B. Adolphi, W.-J. Fischer
  
• Hydrogels and Aerogels from Noble Metal Nanoparticles, Angew. Chemie Int. Ed. 2009, 48, 9731–9734
  C. Bigall, A.-K. Herrmann, M. Vogel, M. Rose, P. Simon, W. Carrillo-Cabrera, D. Dorfs, S. Kaskel, N. Gaponik, A. Eychmüller
  
• Novel method for crystal defect analysis of laser drilled TSVs, Electronic Components and Technology Conference 59th, 2009, 1139-1146
  R. Rieske, R. Landgraf, K.-J. Wolter
  
• The use of nanocrystals with emission in the visible or near infrared and their applications for photonics and optoelectronics, Proceedings of SPIE 2009, 7469 (746908) 1-11
  S. G. Hickey, V. Lesnyak, L. Liebscher, S. Miao, S. Tscharntke, C. Waurisch, N. Gaponik, A. Eychmüller
  
• A Fiber-Optic Surface-Plasmon-Resonance Bio-Sensor. Proceedings of OSA Advanced Photonics Congress, page SWB6. Optical Society of America, 2010
  T. Schuster, N. Neumann, C.G. Schäffer
  
• Amplifed spontaneous emission of surface plasmon polaritons and limitations on the increase of their propagation length. Optics Letters 2010, 35 (8), 1197-1199
  P.M. Bolger, W. Dickson, A.V. Krasavin, L. Liebscher, S.G. Hickey, D.V. Skryabin, A.V.Zayats
  
• Antisticking Layers on Antireflective Chromium for Hybrid (CNP) Nanoimprint Molds, Proc. SPIE, vol. 7545, pp. 7545–0U, 2010
  R. Kirchner, B. Adolphi, R. Landgraf, W.-J. Fischer
  
• Covalently Linked DNA Nanotubes. Nano Letters 2010, 10 (4), 1458-1465
  O. I. Wilner, A. Henning, B. Shlyahovsky, I. Willner
  
• Dielectrophoresis of DNA: Quantification by Impedance Measurements. Biomicrofulidics 2010, 4, 022803
  A. Henning, F. F. Bier, R. Hölzel
  
• DNAzyme-Like Activity of Hemin—Telomeric G-Quadruplexes for the Optical Analysis of Telomerase and its Inhibitors. ChemBioChem 2010, 11 (17), 2362-2367
  R. Freeman, E. Sharon, C. Teller, A. Henning, Y. Tzfati, I. Willner
  
• Fabrication of two-dimensional Au-FePt core-shell nanoparticle arrays by photochemical metal deposition. APL 96, 183111 (2010)
  T. Härtling, T. Uhlig, A. Seidenstücker, N.C. Bigall, P. Olk, U. Wiedwald, L. Han, A. Eychmüller, A. Plettl, P. Ziemann and L. M. Eng
  
• Ion-Induced DNAzyme Switches. Chemical Communications 2010, 46(19), 3250-3252
  S. Shimron, J. Elbaz, A. Henning, I. Willner
  
• Microwave-assisted synthesis of hybrid colloids for design of conducting films, Polymer 51 (2010) 4706-4712
  A. Türke , W.-J. Fischer , H.-J. Adler, A.j Pich
  
• Miniaturized fiber-optic sensor utilizing surface plasmon waves, Proc. of 13th International Meeting on Chemical Sensors, Perth, Australia. 2010
  T. Schuster, M. Haas and C.-G. Schäffer
  
• pH and Ion-Triggered DNAzyme Annual Conference of the Center for Nanoscience and Nanotechnology at the Hebrew University 2010, Ashkelon (Israel), June 21 – 22, 2010
  S. Shimron, J. Elbaz, A. Henning, I. Willner
  
• Solution Space Investigation and Comparison of Modern Data Structures for Heterogeneous 3D Designs, Proc. of 2nd IEEE Int. 3D System Integration Conf. (3DIC), Munich, ISBN 978-1-4577-0526-7, Nov. 16-18, 2010
  R. Fischbach, J. Lienig, M. Thiele
  (Siehe online unter https://dx.doi.org/10.1109/3DIC.2010.5751476)
• A novel patch micro electrode array for sensing ionic membrane currents, Procedia Engineering, 2011, 25, 1373 – 1376
  A. Aryasomayajula, S. Perike, R. Hensel, J. Posseckardt, G. Gerlach, R. H.W. Funk
  
• Acoustical Method for Objective Food Intake Monitoring Using a Wearable Sensor System, Pervasive Health 2011: The 5th International ICST Conference on Pervasive Computing Technologies for Healthcare, May 23rd - 26th, 2011, Dublin, Ireland. pp. 266-269
  S. Päßler, W.-J. Fischer
  
• Assembling 2D Blocks into 3D Chips, Proc. International Symposium on Physical Design, pp. 81-88, 2011
  J. Knechtel, I. L. Markov, J. Lienig
  
• Biosensor System with Polymer Microring Resonators Manufactured by Multilevel-Nanoimprint, 2011 MikroSystemTechnik Congress
  R. Landgraf, R. Kirchner, A. Finn, T. Haugwitz, F. Deicke, S. Arndt, W.-J. Fischer
  
• Chemical functional polymers for direct UV assisted nanoimprinting of polymeric photonic microring resonators, 2011, physica status solidi (a) 208 (6), 1308-1314
  R. Kirchner, M. K. Kaiser, B. Adolphi, R. Landgraf, W.-J. Fischer
  
• Chemical functional polymers for direct UV assisted nanoimprinting of polymeric photonic microring resonators, Phys. Status Solidi A, vol. 208, no. 6, pp. 1308–1314, 2011
  R. Kirchner, M.-K. Kaiser, B. Adolphi, R. Landgraf, W.-J. Fischer
  
• Chewing sound classification using a grammar based classification algorithm, Forum Acusticum 2011, June 26th - July 1st, 2011, Aalborg, Denmark. pp. 39-44
  S. Päßler, M. Wolff, W.-J. Fischer
  
• Chewing Sound Classification Using Algorithms of Speech Recognition. BMT 2011: 45. DGBMT Jahrestagung, September 27th-30th, 2011, Freiburg, Germany
  S. Päßler, M. Wolff, W.-J. Fischer
  
• Controlled Formation of DNA Nanotubes. 17th International Conference on DNA Computing and Molecular Programming, Pasadena (USA), September 19 – 23, 2011
  A. Henning, O. I. Wilner, R. Orbach, M. Wiens, A. K. Dwivedi, N. Haufe, I. Willner, M. Mertig
  
• Covalently Linked DNA Nanotubes. MRS Workshop on Directed Self-Assembly of Materials, Nashville (USA), September 18 - October 1, 2011
  A. Henning, O. I. Wilner, B. Shlyahovsky, I. Willner, M. Mertig
  
• Degradation of Perfluorotrichlorosilane Antisticking Layers: The Impact on Mold Cleaning, UV- Nanoimprinting, and Bonded UV-Nanoimprint Molds, Jpn. J. Appl. Phys., vol. 50, p. 06GK13 (8pp), 2011
  R. Kirchner, L. Teng, B. Lu, B. Adolphi, W.-J. Fischer
  
• Dynamic sorting of carbon nanotubes, DPG- Frühjahrstagung, Dresden, März 2011
  F. Ostermaier, J. Posseckardt, M. Mertig
  
• Eine Methodik zur Nutzung von klassischen IP-Blöcken in 3D- Schaltkreisen, Proc. edaWorkshop 11, pp. 45-50, 2011
  J. Knechtel, J. Lienig
  
• Elektromigrationserscheinungen in zukünftigen digitalen Schaltungen, Tagungsband Dresdner Arbeitstagung Schaltungs- und Systementwurf (DASS 2011), Fraunhofer Verlag, ISBN 978-3-8396-0259-1, pp. 30-35, May 2011
  M. Thiele, J. Lienig
  
• Food Intake Activity Detection Using a Wearable Microphone System. IE'11: The Seventh International Conference on Intelligent Environments, July 25th-28th, 2011, Nottingham, UK. pp. 298-301
  S. Päßler, W.-J. Fischer
  
• Food Intake Recognition Conception for Wearable Devices. In MobileHealth’11: First ACM MobiHoc Workshop on Pervasive Wireless Healthcare, May 16, 2011, Paris, France. pp. 1-4
  S. Päßler, M. Wolff, W.-J. Fischer
  
• Formation of DNA Tubes and Attachment of Nanoparticles. 75. Jahrestagung der DPG und DPG Frühjahrstagung Dresden (Germany), March 13 - 18, 2011
  M. Wiens, A. K. Dwivedi, N. Haufe, A. Henning, M. Mertig
  
• Investigating Modern Layout Representations for Improved 3D Design Automation, Proc. Great Lakes Symposium on VLSI, pp. 337-342, 2011
  R. Fischbach, J. Lienig, J. Knechtel
  
• Methode zur Herstellung eines portablen, hierarchisch strukturierten und multifunktionalen Mikropartikelarrays, GMM-Fachbericht: Mikro-Nano-Integration, VDE VERLAG Berlin, 2011, 68, 63 – 68
  R. Hensel, H.-G. Braun
  
• Miniaturized Fiber-Optic Surface-Plasmon- Resonance Sensor. Proceedings of 21st International Conference on Optical Fibre Sensors, Ottawa, Canada, pages 7753-474. International Societyfor Optics and Photonics, 2011
  T. Schuster, N. Neumann, C.G. Schäffer
  
• Modellierung CNT-basierter thermischer Vias für den effektiven Wärmetransport, Tagungsband Dresdner Arbeitstagung Schaltungs- und Systementwurf (DASS 2011), Fraunhofer Verlag, ISBN 978-3-8396- 0259-1, pp. 24-29, May 2011
  J. Hertwig, M. Thiele, H. Neubert, J. Lienig
  
• Planar optical waveguide design for UV-nanoimprinted microring resonator based biosensors, 2011, IEEE Sensors Conference, 596-599
  R. Landgraf, T. Haugwitz, R. Kirchner, A. Finn, W.-J. Fischer
  
• Self-Assembly of DNA Nanotubes with Controllable Diameters. Nature Communications 2011, 2, 540
  O. I. Wilner, R. Orbach, A. Henning, C. Teller, O. Yehezkeli, M. Mertig, D. Harries, I. Willner
  
• Spectral tuning of IR- resonant nanoantennas by nanogap engineering. Opt. Mater. Expr. 2011, 1 (7)
  D. Weber, J. Katzmann, F. Neubrech, T. Härtling, A. Pucci
  
• Synthesis and characterization of near-infrared absorbing composites of conjugated macroligands on the surface of PbS nanoparticles. Polymer Preprints 2011, 52, 789-790
  I. Kanelidis, J. Zhang, L. Liebscher, S.G. Hickey, A. Eychmüller, E. Holder
  
• Synthesis of Covalently Linked DNA Structures. 75. Jahrestagung der DPG und DPG Frühjahrstagung, Dresden (Germany), March 13 – 18, 2011
  A. Henning, O. I. Wilner, B. Shlyahovsky, M. Mertig, I. Willner
  
• UV-assisted Nanoimprinting using Opaque Molds and Substrates, 1st Annual World Congress of Nano-Science&Technology (NANO- S&T), 23.-26.10.2011 in Dalian (China)
  R. Kirchner, L. Teng, A. Finn, W.-J. Fischer
  
• UV-Nanoimprinting Using Non-Transparent Molds and Non-Transparent Substrates, Microelectron. Eng., vol. 88, pp. 2004–2008, 2011
  R. Kirchner, A. Finn, L. Teng, M. Ploetner, A. Jahn, L. Nueske, and W.-J. Fischer
  
• (2012): Layer thickness of hydrophobin films leads to oscillation in wettability, Langmuir, 28(17):6942-6949
  L. Gruner, K. Ostermann, G. Rödel
  (Siehe online unter https://doi.org/10.1021/la204252y)
• A Medical Wireless Measurement System for Hip Prosthesis Loosening Detection Based on Vibration Analysis. Sensors & Transducers 2012, 12
  S. Friedrich
  
• Adaptation of Models for Food Intake Sound Recognition Using Maximum a Posteriori Estimation Algorithm, Proc. of BSN 2012: The Ninth International Conference on Wearable and Implantable Body Sensor Networks, May 09th-12th, 2012, London, UK. pp. 148-153
  S. Päßler, I. Kraljevski, W.-J. Fischer
  
• Assembling 2-D Blocks into 3-D Chips, IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems, 31(2):228- 241, 2012
  J. Knechtel, I. L. Markov, J. Lienig
  
• Biosensing with Optical Waveguides, In: Bio and Nano Packaging Techniques for Electron Devices, Springer, 2012, 557-579
  T. Schuster, R. Landgraf, A. Finn, M. Mertig, G. Gerlach, K.-J. Wolter
  
• Biosensing with Optical Waveguides. In: G. Gerlach, K.J. Wolter, editors, Bio and Nano Packaging Techniques for Electron Devices, pages 557-579. Springer Berlin Heidelberg, 2012
  T. Schuster, R. Landgraf, A. Finn, M. Mertig
  
• Colloidal Nanocrystal-Based Gels and Aerogels: Material Aspects and Application Perspectives, J. Phys. Chem. Lett. 2012, 3, 8−17
  N. Gaponik, A.-K. Herrmann, A. Eychmüller
  (Siehe online unter https://doi.org/10.1021/jz201357r)
• Decoration of Diatom Biosilica with Small (< 10 nm) Noble Metal and Semiconductor Nanoparticles: Assembly, Characterization and Applications, Chem. Asian J. 2012, 7, 85–90
  Jantschke, A.-K. Herrmann, V. Lesnyak, A. Eychmüller, E. Brunner
  
• Direct Nanoimprinting for Micro- and Nanosystems, in Bio and Nano Packaging Techniques for Electron Devices, Springer- Verlag Berlin Heidelberg (2012), pp. 209–241
  R. Kirchner, J. Derix, A. Nocke, R. Landgraf
  
• Directed Connection of Sixhelix DNA Origami Bundles into Higher Ordered Structures. Biochemical Society conference on Bionanotechnology III: from biomolecular assembly to applications, Cambridge (UK), January 4 – 6, 2012
  A. Henning, A. K. Dwivedi, M. Wiens, N. Haufe, M. Mertig
  
• Entwicklung eines kompakten faseroptischen Oberflächenplasmonenresonanz-Sensors, Tagungsband 4. Dresdner Medizintechnik- Symposium, Dresden, Germany. 2012
  T. Schuster, C. G. Schäffer, M. Mertig
  
• Evaluation of Algorithms for Chew Event Detection, Proc of BodyNets’12: The 7th International Conference on Body Area Networks, September 24– 26, 2012, Oslo, Norway. pp. 20-26
  S. Päßler, W.-J. Fischer
  
• Fabrication and characterization of sub-500 nm channel organic field effect transistor using UV nanoimprint lithography with cheap Si-mold, Microelectron. Eng., vol. 97, pp. 38–42, 2012
  L. Teng, R. Kirchner, M. Plötner, A. Türke, A. Jahn, J. He, F. Hagemann, W.-J. Fischer
  (Siehe online unter https://doi.org/10.1016/j.mee.2012.04.004)
• Faseroptischer Sensor zur Detektion biomolekularer Analyten mittels Oberflächenplasmonenresonanz, Tagungsband 16. Heiligenstädter Kolloquium ”Technische Systeme für die Lebenswissenschaften”, Heilbad Heiligenstadt, Germany, page 24. IBA, 2012
  T. Schuster, C. G. Schäffer, M. Mertig
  
• Fiber Grating-Assisted Investigation on Surface Plasmon Resonance of Fiber Cladding Modes. Proceedings of IEEE Sensors Conference 2012, Taipeh, Taiwan, pages 862-865. IEEE, 2012
  T. Schuster, C.G. Schäffer, M. Mertig, M. Bönsch, D. Plettemeier
  
• Food Intake Activity Detection Using an Artificial Neural Network. In: Biomed Tech 2012; 57 (Suppl. 1), Walter de Gruyter Berlin Boston. Proceedings of BMT 2012: 46. DGBMT Jahrestagung, September 16th-18th, 2012, Jena, Germany
  S. Päßler, W.-J. Fischer
  (Siehe online unter https://dx.doi.org/10.1515/bmt-2012-4092)
• Food intake monitoring: An acoustical approach to automated food intake activity detection and classification of consumed food. Physiol. Meas. 33 (2012) 1073-1093
  S. Päßler, M. Wolff, W.-J. Fischer
  (Siehe online unter https://doi.org/10.1088/0967-3334/33/6/1073)
• Free-floating hydrogel-based rafts supporting a microarray of functional entities at fluid interfaces, Soft Matter, 2012, 8, 5293 – 5300
  R. Hensel, H.-G. Braun
  (Siehe online unter https://doi.org/10.1039/c2sm07485k)
• Geometrical Properties of Multilayer Nano-Imprint-Lithography Molds for Optical Applications, Microelectron. Eng., vol. 98, pp. 284–287, 2012
  Finn, R. Hensel, F. Hagemann, R. Kirchner, A. Jahn, W.-J. Fischer
  
• Geometrical properties of multilayer nano-imprint-lithography molds for optical applications, Microelectronic Engineering, 2012, 98, 284 – 287
  A. Finn, R. Hensel, F. Hagemann, R. Kirchner, A. Jahn, W.-J. Fischer
  
• High-Performance Electrocatalysis on Palladium Aerogels, Angew. Chem. Int. Ed. 2012, 51, 5743–5747
  W. Liu, A.-K. Herrmann, D. Geiger, L. Borchardt, P. Simon, S. Kaskel, N. Gaponik, A. Eychmüller
  (Siehe online unter https://doi.org/10.1002/anie.201108575)
• Infrared Optical Properties of Nanoantenna Dimers with Photochemically Narrowed Gaps in the 5 nm Regime, ACS Nano 2012, 6 (8)
  F. Neubrech, D. Weber, J. Katzmann, C. Huck, A. Toma, E. Di Fabrizio, A. Pucci, T. Härtling
  (Siehe online unter https://doi.org/10.1021/nn302429g)
• Miniaturized Long-Period Fiber Grating Assisted Surface Plasmon Resonance Sensor. Journal of Lightwave Technology 30(8):1003-1008, 2012
  T. Schuster, R. Herschel, N. Neumann, C.G. Schäffer
  (Siehe online unter https://doi.org/10.1109/JLT.2011.2166756)
• Multiobjective Optimization of Deadspace, a Critical Resource for 3D-IC Integration, Proc. IEEE/ACM Int. Conf. on Computer-Aided Design (ICCAD), San Jose, CA, pp. 705-712, Nov. 2012
  J. Knechtel, I. L. Markov, J. Lienig, M. Thiele
  
• Multiobjective Optimization of Deadspace, a Critical Resource for 3D-IC Integration, Proc. International Conference on Computer- Aided Design, pp. 705-712, 2012
  J. Knechtel, I. L. Markov, J. Lienig, M. Thiele
  
• Nanorod formation by photochemical metal deposition in nanoporousaluminum oxide matrices. J. Phys. Chem. C 2012, 116 (44)
  J. Katzmann, T. Härtling
  (Siehe online unter https://doi.org/10.1021/jp303896a)
• Nutzung von klassischen IP-Blöcken in 3D-Schaltkreisen, J. Lienig und M. Dietrich (Herausgeber): Entwurf integrierter 3D-Systeme der Elektronik, Springer Vieweg, pp. 145-174, 2012
  J. Knechtel
  
• Optical Biosensors Based on Polymer Micro Ring Resonators, 2nd NaPaNIL-Industrial Day, 28.02.2012 in Berlin
  R. Landgraf, R. Kirchner, A. Finn, W.-J. Fischer
  
• Ordered and Nonordered Porous Superstructures from Metal Nanoparticles. In Complex-shaped Metal Nanoparticles; Sau, T. K.; Rogach, A. L., Eds.; Wiley-VCH: Weinheim, 2012, 339–360
  A.-K. Herrmann, N. C. Bigall, L. Lu, A. Eychmüller
  
• Packaging of Electronic Devices for Long-Term Implantation, International Spring Seminar on Electronics, Mai 2012
  S. Friedrich
  
• PbS- Organic-Mesocrystals: The Relationship Between Nanocrystal Orientationand Superlattice Array. Angewandte Chemie 2012, 51, 10776-10781
  P. Simon, E. Rosseeva, I.A. Baburin, L. Liebscher, S.G. Hickey, R. Cardoso-Gil
  (Siehe online unter https://doi.org/10.1002/anie.201204583)
• Planar optical microring resonators used as biosensors: Guidelines for designing polymercompared to semiconductor-based waveguides, Proc. SPIE, vol. 8561, p. 85610Q, 2012
  R. Landgraf, T. Haugwitz, R. Kirchner, W.-J. Fischer
  
• Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) covered gold electrode for improved detection of sulfur dioxide and polyphenols in white wines, Volumen 60, 15 January 2012, Pages 184–192
  A. Türke; W.-J. Fischer; N. Beaumont; P. A. Kilmartin
  
• Polymer Microring Resonator Directly Patterned by Multilevel-Nanoimprint: Integration into Biosensor System with a Miniaturized Microfluidic System, 2012, Tagungsband, 259-267
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  L. Teng, M. Plötner, A. Türke, B. Adolphi, A. Finn, R. Kirchner, W.-J. Fischer
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  R. Hensel, R. Helbig, S. Aland, H.-G. Braun, A. Voigt, C. Neinhuis, C. Werner
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